氧气分压对AZO薄膜晶体结构和光学性能的影响.pdfVIP

第39卷 第3期 广西大学学报：自然科学版 V01．39 No．3 2014年6月 JournalofGuangxiUniversity：NatSciEd June2014 文章编号：1001—7445(2014)0543559-04 氧气分压对 AZO薄膜晶体结构和 光学性能的影响 李小鹏，黄 瀛，韦小凤，何 欢，符跃春，詹 锋 ，沈晓明 (广西大学 材料科学与_T程学院，有色金属及材料加T新技术教育部重点实验室，广西 南宁 530004) 摘要：为了研究掺铝氧化锌(AZO)薄膜在制备过程中不同氧气分压下的晶体结构、表面形貌和光学性能的变 化 ，采用脉冲激光沉积法 (PLD)在玻璃基片上沉积AZO薄膜。结果表明，当氧气分压为 0．8Pa时 ，AZO薄膜 沿 (002)面择优取向生长，具有最好的结晶质量，薄膜表面平整且结构致密，并且呈现出排列均匀的纳米晶 粒。同时发现，随着氧气分压从0．2Pa升高至8．0Pa，AZO薄膜的紫外吸收边逐渐向长波方向移动。而在可 见光范围内，氧气分压对AZO薄膜在可见光区透射率影响不大，透射率均在 80％以上。 关键词 ：AZO薄膜；氧气分压；光学性能 ；透射率 中图分类号：0484；TB43 文献标识码：A Theinfluenceofoxygenpartialpressureonthestructuraland opticalpropertiesofAZO thinfilms LIXiao—peng，HUANG Ying，WEIXiao-feng，HE Huan， FU Yue—chun，ZHAN Feng，SHEN Xiao—ming (KeyLaboratoryofNewProcessingTechnologyforMaterialsandNonferrousMetal，MinistryofEducation， CollegeofMaterialScienceandEngineering，GuangxiUniversity，Nanning530004，China) Abstract：Tostudythe crystallinestructure，surfacemorphology andopticalproperty changesof AZOthinfilmspreparedundervarious02partialpressures，pulsed-laserdeposition(PLD)wasused todepositAZO thinfilmsonglasssubstrates．TheresultsshowedthatAZO thinfilmsgrew alongwith preferentialorientation(002)andhadoptimalcrystallinequalitywhenoxygenpartialpressurekept at0．8Pa．In addition，thefilmshad smoothsurfaceandcompactedsturctureandnanocrystalline grainsdisposedevenlyonthesurfaceoffilms．Italsocanbefoundthattheultravioletabsoprtionedge movedtothelongerwavelengthwiththeincreaseofoxygenpartialpressurefrom 0．2Pato8．0Pa． OxygenpartialpressurehadlittleinfluenceonthetransmittanceofAZO thinfilmsinvisiblelightre- gionandthetransmittanceofalltheAZO thinfilmsisabove80％ ． KeyW ords：AZO thinfilms；oxyge