氮气流量对磁控溅射zrn纳米涂层结构及硬度的影响.pdfVIP

第 卷 第 期 西 安 交 通 大 学 学 报 ４５ １ Ｖｏｌ．４５ Ｎｏ．１ 　 　 　 　 　 　 　 　 　 年 月 　 　 ２０１１ １ ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＸＩ′ＡＮ ＪＩＡＯＴＯＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ Ｊａｎ．２０１１ 　 　 　 　 氮气流量对磁控溅射ＺｒＮ纳米涂层 结构及硬度的影响 １ ２ ２ ２ ２ ， ， ， ， 黄若轩 孙鹏 朱芳萍 祁正兵 王周成 （ ， ， ； ， ， ） 厦门大学材料学院 福建厦门 厦门大学化学化工学院 福建厦门 １． ３６１００５ ２． ３６１００５ ： ， ， 摘要 利用磁控溅射方法 通过改变氮气流量制备出 ＺｒＮ 纳米涂层 研究了氮气流量对 ＺｒＮ 纳米 涂层结构及硬度的影响， 、 、 并采用表面轮廓仪 射线衍射仪 扫描电镜及纳米压痕表征了 纳米 Ｘ ＺｒＮ 、 、 ， ， ， 涂层的厚度 相结构 形貌及硬度 实验结果表明 随着氮气流量增加 涂层厚度减小 涂层择优取向 ． （ ） （ ）， ； 由 １１１ 变为 ２００ 对应的截面形貌由柱状结构变为非柱状结构 传统的位错滑移机制不适用于 ， ＺｒＮ纳米涂层的塑性变形 其硬度随择优取向和晶粒尺寸的增大而增加． ： ； ； ； ； 关键词 氮化锆 纳米涂层 磁控溅射 取向性 硬度 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＧ １７４．４４４ Ａ ０２５３ 　 　 　 －９８７Ｘ ２０１１０１－０１３７－０４ ＩｎｆｌｕｅｎｃｅｓｏｆＮｉｔｒｏｅｎＦｌｏｗＰｅｒｃｅｎｔａｅｏｎＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅａｎｄＨａｒｄｎｅｓｓｏｆ 　 　 　 　 　 　 　 　 　 ｇ ｇ ＺｒＮＮａｎｏＣｏａｔｉｎ ｓｆｒｏｍＭａ ｎｅｔｒｏｎＳ ｕｔｔｅｒｉｎ 　 －