膜厚可控SiO2光子晶体的制备与研究.pdfVIP

· 26 · 材料导报B：研究篇 2014年9月(下)第28卷第9期 膜厚可控 SiO2光子 晶体 的制备与研究 闫冈4印 ，文4 静 ，王继冈0。 (1 西藏民族学院信息工程学院，咸阳712082；2 东南大学材料科学与工程学院，南京 211189) - 摘要 在相同SiO2悬浮液浓度下，采用改进的双基片垂直沉积法成功制备 了不同膜厚的SiO 光子晶体薄 膜。研究发现，通过调节两基片间夹层厚度可以很好地控制样品薄膜厚度，不同厚度SiOz光子晶体的表面形貌也有 一 定的变化。 关键词 光子晶体 自组装 蛋白石结构 双基片垂直沉积 中图分类号 ：TB321 文献标识码：A DOI：10．11896／j．issn．1005—023X．2014．18．007 FabricationandResearchofSi02PhotonicCrystalswithControllableThickness YAN Gangyin，LIU Jing，WANGJigang。 (1 SchoolofInformationEngineering，TibetUniversityforNationalities，Xianyang712082；2 SchoolofMaterialsScienceand Engineering，SoutheastUniversity，Nanjing211189) Abstract InthesameconcentrationofSiO2suspension，Si02photoniccrystalswith differentthicknesswere successfullyfabricatedbymodifyingtwo—substrateverticaldepositionmethod．Itshowsthatthethicknessofthesam— plescanbeeasilycontrolledbyadjustingthedistancebetweenthetWOsubstrates．Meanwhile，somechangeshave takenplaceinsurfacemorphologyofsampleswithdifferentthicknesses． Keywords photoniccrystal，selfassembly，opalstructure，two-substrateverticaldeposition 片之间的距离较小时才能制备大面积的光子晶体薄膜，而当 0 引言 两基片之间的距离较大时，由于两基片间液体增多，而毛细 自从 1987年 Yabnolovitch在讨论如何抑制 自发辐射时 力竖直 向上的分力没有发生变化，其对微球乳液的提拉高度 提出光子晶体这一新概念以来[1]，光子晶体材料便吸引了越 必定降低，以保证毛细力竖直向上分力与两基片间液体所受 来越多科学工作者的注意。自组装单分散亚微米胶体球来 重力相等。故原始双基片沉积法所制备的光子晶体薄膜不 得到三维周期性结构 ，获得光学波段的光子晶体 ，是三维光 能占据双基片之间的整个空间。本课题组对这种双基片沉 子晶体研究的一个热点。这种光子晶体因具有蛋 白石结构， 积法做了一定改进：通过添加悬浮液来调节两基片间悬浮液 有时也被称为人工蛋白石 。 高度，随着溶剂的完全挥发，可大面积制备光子晶体薄膜。 对于 自组装制备蛋 白石结构光子晶体薄膜来说，其厚度 本实验采用这种改进的双基片垂直沉积法，制备了不同膜厚 的可控性一直是一个难题 。一些科学工作者提 出不同方法 的蛋白石光子晶体薄膜 ，用扫描电镜观察了不同膜厚的SiO。 来实现蛋白石结构光子 晶体薄膜膜厚可控 ，如改变颗