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具有三维力反馈的原子力显微镜纳米操作系统
27 7 Vol1 27 No1 7
2006 7 Chinese Journal of Scientific Inst rument Jul1 2006
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1, 2 1 1, 2 1, 2 1 1
1 ( 110016)
2 ( 100039)
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TH742 T P29 A 510. 8040
AFM based nanomanipulation system with 3D force feedback
1, 2 1 1, 2 1, 2 1 1
T ian Xiaojun Wang Yuechao Liu Lianqing Jiao Niandong Dong Zaili Xi Ning
1 ( Robotics Laboratory , S heny ang I nstitute of A utomation, A cademy of Sciences, Sheny ang 110016, China)
2 ( Grad uate School , A cademy of S ciences, Beij ing 100039, China)
Abstract Due to the lack of real2time sensory information feedback during atomic force microscope (AFM)
based nanomanipulation, the manipulation is performed with low efficiency and less flexibility, and AFM
probe is also prone to be broken. T o solve this problem, the model of nano forces acting on probe and can2
tilever deflection was proposed. The real2time three dimensional ( 3D) nano forces are obtained from canti2
lever deflections measured by position sensing detector ( PSD) using new parameter calibration method.
The 3D nano forces are magnified proportionally and sent to a haptic/ force device for operator to feel, then
the operator can adjust the forces acting on the probe and probe motion
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