阿贝原则再认识 (1).pdfVIP

第33卷 第5期 仪 器 仪 表 学 报 V01．33N0．5 2012年5月 ChineseJournalofScientificInstrument May．2012 阿贝原则再认识术 石照耀 ，张 斌 ，费业泰 (1北京丁业大学机械_丁程与应用电子技术学院 北京 100124；2合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 合肥 230009) 摘 要：为探究阿贝原则在现代超精密制造和测量中的适应性 ，回顾了古典阿贝原则及其扩展 ，剖析了要素布局产牛的一次误 差，研究了二维长度测量中的阿贝原则。通过分析测量系统的标准量、被测量 、瞄准点、读数点、导向面5个要素的不同布局产 生的误差，发现当标准量和被测量按经典阿贝原则要求处于同一条直线上，而其余要素不在这条直线上时，也会产生一次误差。 提出了瞄准共线 、读数共线、导向共线以及阿贝臂误差、瞄准臂误差 、读数臂误差、导向臂误差和阿贝综合误差等概念。揭示了 阿贝原则的隐含条件，重新表述了阿贝原则。讨论了上下堆叠式和共平面式二维结构的阿贝原则适应性 ，提出了一种提升工具 显微镜精度的简明方案，介绍了 一种减小阿贝误差的共平面二维精密工作台。对阿贝原则的再认识，可更新设计理念，用于研 制超精密仪器和机械 ，也可用于经典量仪的精度再提升。 关键词 ：阿贝原则；一次误差；阿贝误差；二维阿贝原则 中图分类号 ：TB92 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．2010 Re—visittotheAbbeprinciple ShiZhaoyao ，ZhangBin ，FeiYetai (，CollegeofMechanicalEngineeringandAppliedElectronicsTechnology，BeltingUniversityofTechnology，Belting100124，China； 2SchoolofInstrumentScienceandOpto—electronicsEngineering，HefeiUniversityofTechnology，Hefei230009，China) Abstract：ToexploretheadaptabilityoftheAbbeprincipleinmodern ultra—precisionmanufacturingandmeasure- ment，theAbbeprincipleand itsextension arereviewed，thefirstordererrorsduetotheconfigurationoftheele— mentsareanalyzed，andtheAbbeprinciplefortwodimensionallengthmeasurementisdiscussed．Throughanalyzing theerrorsgeneratedbythedifferentconfigurationsoffiveelementssuchasreference，measurand，sensingpoint，ref- erencepointandguidingsurface，itisdiscoveredthatthefirstordererrorsareofundwhenthesensingpoint，refer— eneepointandguidingsurfacearenotinthesamelinewhilethereferenceandmeasurandarecollinearastheAbbe principlerequires．Theconceptsofcollinearsensingpoint，collinearreferencepointandcollinearguidingsurfaceare presented，andtheAbbeoffseterror，senseoffseterror，referenceoffseterror，guidingoffseterrorandAbbecompre— hens