用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究 - 电子与信息学报.pdfVIP

第 34 卷第 5 期 电 子 与 信 息 学 报 Vol.34No.5 2012 年 5 月 Journal of Electronics Information Technology May 2012 用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究 卞贺明①② 边 超① 佟建华① 孙楫舟① 张 虹① 韩泾鸿① 夏善红*① ①(中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 北京 100190) ②(中国科学院研究生院 北京 100190) 摘 要：该文设计并制备了一种多层微结构的安培型氨气三维微纳传感芯片，并构建了以此微传感芯片为敏感单元 的氨氮检测系统，探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感芯片采用微纳加工工艺制备，使用聚 合物键合工艺在较低温度下实现了微传感器多层结构的封装。使用纳米铱作为传感器的敏感材料，其具有良好的电 催化氧化能力，可使传感器具有较高的灵敏度。对 Ag/AgCl 微参比电极的稳定性进行了考察。使用自行设计的氨 氮检测系统对氨氮样品进行检测，对微传感器的时间响应特性、浓度响应特性、重复性及选择性进行了测试和分析。 实验结果表明，在 0.5~10 mg/L 的测试范围内，检测电流与氨氮浓度保持良好的线性，灵敏度为 1.62 μA/(mg/L)， 线性相关系数为 0.995，重复性偏差为 5.73%。同时，传感器显示出良好的选择性。 关键词：微型电化学氨气传感器；三维微纳器件；水质监测；氨氮 中图分类号：TP212.3 文献标识码： A 文章编号：1009-5896(2012)05-1257-06 DOI: 10.3724/SP.J.1146.2011.00934 Miniaturized 3D Micro/Nano Ammonia Sensor Chip and System for Measurement of Ammonia Nitrogen ①② ① ① Bian He-ming Bian Chao Tong Jian-hua ① ① ① ① Sun Ji-zhou Zhang Hong Han Jing-hong Xia Shan-hong ① (State Key Laborotary of Transducer Technology, Institute of Electronics, Chinese Acadamy of Sciences, Beijing 100190, China) ② (Graduate University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) Abstract: A miniaturized multilayer 3D micro/nano ammonia sensor chip is designed and prepared. An ammonia nitrogen measurement system utilizing such a miniaturized sensor chi