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·40· 2007年第一期 电子元器件失效分析方法和技术 长岭电子科技公司产品检验处 张 星 摘要：失效分析是电子元器件质量和可靠性保证体系的重要组成部分。本文叙述了电子元器件的主要失效机理和失效分析 的方法，由于电子元器件种类很多、失效分析方法各异，开展失效分析工作需要同时具备常用的失效分析方法和各种电子 元器件的主要失效机理的知识。了解了这些知识，失效分析可根据失效现场情况，推测电子元器件可能的失效机理，选择适 当失效分析方法，快速准确地进行失效分析。 关键词：失效分析 失效机理 失效模式 一 、 失效分析方法和技术 元器件的失效原因和引起电子元器件失效的责任 1．失效分析的基本概念 方。根据失效分析结果，元器件生产厂可改进元器 对电子元器件失效原因的诊断过程叫失效分 件的设计和工艺来提高质量。元器件使用方(整机 析，失效分析的目的是确定失效模式和失效机理， 厂)可改进电路板设计、改进元器件和整机的测试 提出纠正措施，防止这种失效模式和失效机理的 和使用环境或改变元器件的供应商。因而，失效分 重复出现。失效模式是指观察到的失效现象、失效 析对加快的电子元器件的研制速度，提高元器件 形式，如开路、短路、参数漂移、功能失效等。失效 和整机的产品率和可靠性有重要意义。 机理是指失效的物理化学过程，如疲劳、腐蚀和过 1．3 失效分析的程序 应力等。 (1)搜集失效现场数据；(2)电测并确定失效 1．1 失效模式的概念和种类 模式；(3)非破坏性分析；(4)打开封装；(5)镜 失效模式就是失效的外在表现形式，不需要 检；(6)通电激励芯片；(7)失效定位；(8)对失效 验证和深入说明物理原因。按失效的持续分类：致 部位进行物理分析和化学分析；(9)综合分析，确 命性失效、间歇性失效、缓慢性退化。 定失效原因，提出纠正措施。 按失效时间分类：早期失效、随机失效、磨损 1．4 收集失效现场数据 性失效。 在电子元器件研制方和使用方之间，任何一 按电测结果分类：开路、短路或漏电、参数漂 方的差错，都会引起电子元器件失效。为防止同类 移、功能失效。 失效的重复出现，必须找出失效原因并进行整改。 1．2 失效分析的重要意义 失效分析的任务之一是找出引起失效责任方。失 在电子元器件的研制阶段，失效分析可纠正 效现场数据何以反映失效的工作环境。 设计和研制中的错误，缩短研制周期。在电子元器 1．5 各类元器件失效模式的分布 件的生产、测试和使用阶段，失效分析可找出电子 2007年第一期 ·41· 1．6 应力类型与元器件失效的模式关系 应力类型与元器件失效模式或机理的关系 应力类型 试验方法 可能出现的主要失效模式或机理 电应力 过 电：浪 涌 电 压 MOS器件的击穿、双极型器件的pn结击穿、功率晶 静电(ESD) (EOS)噪声 体管的二次击穿、COMS电路的闩锁效应。 金属一半导体接触A