电子衍射分析及晶体生长方向判定电子衍射基础11-分析测试中心.pdf

电子衍射分析及晶体生长方向判定 电子衍射基础 1.1 布拉格定律     晶体内部的质点是有规则的排列，由于这  OOO  种组织结构的规则性，电子的弹性散射波可在  SSS TTT 一定方向相互加强，除此以外的方向则减弱， RRR 图1 晶体对电子的散射 这样就产生一束或几束电子衍射波。晶体内包含着许多族晶面的堆垛，在每一族 晶面的每一个晶面上，质点都按同样的规律排列且这族晶面的堆垛间距是一个恒 定的距离，称之为晶面间距dhkl 。 当一束平面单色波照射到晶体上时，各族晶面与电子束成不同的角度，电子 束在晶面上的衍射角为θ，将上述特征入射束标记为A 、B ，其散射束标记A1 、B1 ， 当第一层晶面的反射束OA1 与透射束在第二层晶面反射束RB1 间的光程差δ = SR + RT ，晶面间距为d ，则δ = 2d sinθ 按波的理论证明，两支散射束相干加强的条 件为波程差是波长的整数倍，即： 2d sinθ = nλ 这就是布拉格定律(Bragg’s Law)，其中n 为整数，晶面间距d 代表晶体的特 征，λ 为电子波长，代表入射电子束的特征，θ 为衍射角，代表入射束与d 代表 的晶面间的几何关系。布拉格定律规定了一个晶体产生衍射的几何条件，它是分 析电子衍射谱的几何关系的基础。只要晶面间距dhkl 和它对入束的取向θ 满足布 拉格定律，可以同时产生衍射： 2 (d/ n)sinθ = λ 据晶面指数的定义，晶面间距小了n 倍就相当于晶面指数大了n 倍： 2 d nh,nk,nl sinθ = λ n 为晶面的(hkl)衍射级数，因此，以上公式是把晶面(hkl) 的n 级衍射换成晶 面(nh,nk,nl) 的一级衍射，nh,nk,nl 是干涉面的指数。因此，经简化后的布拉格定 律公式可以不写n，即： 2d sinθ = λ 由以上公式可以估算产生布拉格衍射的衍射角θ ，通常透射电镜的加速电压 -3 -1 为100~200kV，即电子束的波长为10 nm量级，常见晶体的晶面间距为10 nm数量 -2 o 级，由上式可得衍射角θ = 10 rad10 , 这表明能产生布拉格衍射的晶面几乎 平行于入射电子束。 1.2Ewald作图法及电子衍射的几何关系 将布拉格定律改为sinθ = (1/d) / (1/λ )，这样电子束(λ )、晶体(d)及 其取向关系可用一个三角形AGO表示，如图2所示，其中， g为垂直于晶面(hkl)的倒易矢量，|g | = OG =1/ d hkl AO=2/λ ，∠OAG= θ 以中心