电化学沉积DLC 薄膜的摩擦学性能研究 - 摩擦学学报.PDF

第 23 卷　第 3 期 摩 擦 学 学 报 23, 　 3 V o l N o 2003 年 5 月 TR IBOL O GY M ay, 2003 电化学沉积DL C 薄膜的摩擦学性能研究 阎兴斌, 徐　洮, 杨生荣, 薛群基 ( 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室, 甘肃 兰州　730000) 摘要: 采用直流电源, 以有机溶剂作为碳源, 通过电化学沉积方法在单晶硅表面制备了类金刚石碳薄膜. 用原子力显 微镜、拉曼光谱仪和傅立叶红外光谱仪等表征了薄膜的结构, 用 型动静摩擦系数精密测定仪考察了薄膜的摩 D F PM ( ) 擦学性能. 结果表明: 电化学沉积含氢类金刚石碳薄膜的硬度较高 约 14 GP a , 薄膜均匀、致密, 表面粗糙度小; 在室 温干摩擦条件下, 薄膜同 15 钢以及 和 陶瓷对摩时的摩擦系数随载荷增加而略微减小; 陶瓷材料 GC r A l O Si N 2 3 3 4 类金刚石碳膜的摩擦系数较低, 钢类金刚石碳膜的摩擦系数较高; 类金刚石碳薄膜同 Si N 陶瓷对摩时呈现断裂剥 3 4 落特征; 同GC r 15 钢对摩时发生转移并形成转移膜, 耐磨寿命缩短. 关键词: 电化学沉积; 类金刚石碳膜; 摩擦学性能 中图分类号: T G 174. 44; O 484 文献标识码: A 文章编号: (2003) 030 16905 ( ) 　　作为非晶碳膜, 类金刚石碳膜 简称DL C 膜 的 用N AN O T E ST 600 型纳米压入仪测量薄膜的 机械、光学、电学、化学和摩擦学特性类似于金刚石. 纳米硬度. 用 SPM 9500 型原子力显微镜 (A FM ) 观 DL C 膜具有高硬度、抗磨损、化学惰性、低介电常数、 察样品表面形貌. 用 SP EX 1403 型激光 R am an 光谱 宽光学带隙以及良好的生物相容性等特性, 可以广泛 仪 (R am an ) 分析薄膜的原子组态结构, 采用A r+ 激 应用于机械、电子、化学、军事和航空航天等领域. 目 光器的中心波长 488 nm , 激光器功率 200 mW . 用