纳米多孔VO2薄膜的性能研究.pdfVIP

具有低光学常数，强透光率和热致变色纳米多孔 VO 薄膜的性能研究 2 LitaoKang,YanfengGao,HongjieLuo,ZhangChen,JinDu,andZongtaoZhang 摘要：一直以来，人们通过PAD法制备具有低光学常数和可变厚度的纳米多孔热致变色VO2薄膜。薄 膜的孔隙率和厚度改变了从薄膜 基体和空气 薄膜界面反射出来的两束光之间的干涉关系，从而强烈的- - 影响了VO2薄膜的光学性能。我们制备的最优化的单层VO2薄膜显示出了较高的集成透光率和太阳能调 控能力，与TiO/VO/TiO/VO/TiO 五层薄膜相当。光学计算结果表明通过增加孔隙率可以进一步提高 2 2 2 2 2 薄膜的性能。 关键 ：二氧化钒 光学性能 热致变色性能 孔隙率 VO - MIT 当 2受到温度、应力、电场或者光刺激时，会发生金属绝缘体状态的可逆转变 （ ），同时发 生M/R相变。这一转变是以光 电性能的突变，较短的转变时间和可调的相变温度为特点的，也因此使/ 得VO2有广泛应用前景，包括电阻开关元件、光信息存储设备、光调制器、智能窗材料。 VO T T 对于 作为智能窗材料这一实际应用来说，低的透光率 （ ）和太阳能调控能力 （Δ ）是其 2 lum sol T T Mg F 两大主要缺点。因此人们一直在研究提高 和Δ 的途径，包括 或 掺杂、多层堆积设计和复 lum sol Mg F VO 合薄膜结构。 或 掺杂除了导致相变温度的降低，在 2薄膜的光吸收边还产生了蓝移效应。这种 变化造成了透光率的大幅度提高，而红外调制能力大幅下降。在VO2 多层薄膜中也发现了处于透光率和 热致变色性能之间的相似的权衡关系。一种VO -SiO2 2 复合材料薄膜显示出了很高的可见光透过率，但 其红外调制能力很低。具有最佳光学结构的TiO/VO/TiO/VO/TiO2 2 2 2 2五层薄膜，其透光率和太阳能调制 能力均相对较高。然而，将具有一定折射率和厚度的电介质层与复杂的堆积结构结合成一个整体是一项 巨大的技术挑战。光学计算结果表明，弥散于电介质基质上的VO2纳米颗粒具有比纯VO2 薄膜更高的 T T T =40% T 10% 和Δ 。这一结果进一步预测了太阳能调制能力的极限是 ，Δ ≦ 。最近，我们通 lum sol lum sol 95nm VO -ZrVO Zr/V 过实验确定了复合材料基质的作用。对于厚度大约都在 的 2 2 复合薄膜来说，随着 的增加，颗粒尺寸减小，光学透过率明显增加。 单层VO2薄膜具有比多层薄膜高得多的孔隙率，然而人们几乎没有报道孔隙率对于单层VO2薄膜光 VO T T 学性能的影响。 薄膜中的气孔作为第二种成分，对于提高 和Δ 应该有相似的作用。在完成 2