逢甲大学电子系专题研期末周记-专题周记系统.PDF

逢甲大學電子系專題研期 末週記 指導教授：康宗貴 老師 專題生：林坤壕、廖彥碩 學號：、D0179203 中華民國103 年5 月24 日 一、簡介： 現在的科技一直在進步，在生活上會用到許多的電子產品，而且 一直不斷的在更新，像早期的電視顯示器，是使用陰極射線管， 又稱映像管，它是利用陰極電子槍發射電子，在陽極高壓的作用 下，射向螢光屏，使螢光粉發光，同時電子束在偏轉磁場的作用 下，作上下左右的移動來達到掃描的目的。 隨著時代改變，陰極射線管的缺點也逐漸顯現出來，它不支援數 位訊號、又大又重，又很耗電等，所以逐漸被取代。 然而取代的是漸漸發展出優勢的「薄膜電晶體」(Ｔｈｉｎ Ｆｉ ｌｍＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ，ＴＦＴ) ，是指利用薄膜技術所做 成的矽電晶體電極，是用來主動控制每一個像素光通過量的元件。 在導電玻璃上畫上網狀的細小電路，ＴＦＴ所排列成的矩陣開關， 可控制光的通過，而形成影像。 「薄膜電晶體」(ＴＦＴ， Ｔｈｉｎ ＦｉｌｍＴｒａｎｓｉｓ ｔｏｒ)又稱為「主動矩陣薄膜電晶體」，是場效應電晶體的種 類之一，大略的製作方式是在基板上沉積各種不同的薄膜，在製 作於絕緣基板上的金氧半 (ＭＯＳ)電晶體件。其通道層的材質常 使用「非晶矽」(Ａ－Ｓｉ或「多晶矽」) (ｐｏｌｙ－Ｓｉ所組) 成。 由於薄膜電晶體是一個主動控制光通過量的元件，最常應用於顯 示器產品上，製作成「薄膜電晶體液晶顯示器」但TFT基板不能 忍受高的退火溫度，所以全部的沉積製程必須在相對低溫下進行 TFT-LCD的優點 :1.發光亮度佳 2.發光效率佳 3.色彩度好 4.低 耗電性 5.製程成熟可大量生產，然而有優點就一定有缺點，一 個東西不可能十全十美，TFT-LCD的 缺點為:1.響應速度較慢 (有 殘影問題) 2.視角較小 3.製程較複雜成本較高 4.需在低溫下 製作 因為使用薄膜電晶體做成的液晶顯示器優點多於缺點，所以我們 希望對薄膜電晶體有更多的研究並試圖改善其缺點。 二、模擬步驟 點選 Edit來編輯我們所選的檔案 首先我們先學習如何使用光罩，藉由調整光罩的長度和種類來產生不同 的光罩 光罩的功用跟PCB時曝光的過程很像，以正光阻來說有被曝光的地方在 蝕刻時會被洗掉，而沒有曝光的電路會被留下來。 光罩結束後進入下一個步驟，下圖這個介面可以修改製作半導體時的材 料以及步驟和程序，可以修改每一層想加入的材料，也可以修改光罩以 及蝕刻的程序。 (MDraw) 第一步驟所模擬出來的半導體模型，因為有加正、負光阻，所以在曝光 後蝕刻出來的形狀也皆會不同 因為在第一步驟選擇材料時，能選擇的材料有限，所以只好找特性相同 的材料先代替，模擬出來後再點選 Materials來選擇一開始想要的材料 來做為替換 選完想要的材料後，再點選 Change Material來把Ti 、Aluminum和Gas替 換進去，如下圖 再來點選Add Contact來加入電極source 、drain 、gate 點選 Set Contact把電極 (左)source 、(右 )drain 、中間( )gate加入 點 doping後，點選 including Command File...來加入我們第一步驟所 設計的光罩、沉積、蝕刻、離子佈植的流程設定 點 View→List Of Profiles...來確定是否已加入 儲存後，點選 Add Refinement 來框選我們想要觀察電場的地方，框起 來的地方會越清楚 再來點選Buold Mesh ，使圖形拉線來形成很多的交點以便於觀察交點上 的數值， 有選的地方其線越密集，其解析度相對越高 每一個半導體都需要適合的電壓才能使其正常運作，如果我