第五章压电式传感器.ppt

几种常见压电加速度传感器的结构: 1、图（a）为常用的压缩式压电加速度传感器。这是目前最常见的一种。结构简单，装配较为方便。为便于装配和增大电容量常用两片极化方向相反的晶片，电学上并联输出。采用石英晶片时也有采用四片晶片并联的方式。 图(b)是剪切式压电加速度传感器，采用剪切应力实现压电转换。管式压电元件紧套在金属圆柱上，在压电元件外径上再套上惯性质量块，相互之间用导电胶粘结。如传感器感受向上的运动,金属圆柱向上运动，由于惯性质量环保持滞后，这样压电元件就受剪切应力作用，从而在压电元件的内外表面上产生电荷；如果传感器感受向下的运动，则压电元件内外表面上的电荷极性相反。 这种结构形式的传感器灵敏度高，横向灵敏度小，而且能减小基座应变的影响。剪切式压电传感器容易小型化，有很高的固有频率，所以频响范围宽，适于测量高频振动。但是，由于压电元件、金属圆柱以及惯性质量环之间粘结较难，装配成功率较低。 图(c)为弯曲式压电加速度传感器。压电晶片粘贴在悬臂梁的侧面，悬臂梁的自由端装配质量块，固定端与基座连接。振动时，悬臂梁弯曲，侧面受到拉伸压缩，使压电元件发生形变，从而输出电信号。也可用圆板代替悬臂梁，在圆周装配质量块，在圆板表面上安装压电元件。 弯曲式压电加速度传感器固有共振频率低，灵敏度高，适用于低频测量。缺点是体积大，机械强度较前两种差。 采用不同的结构设计和选用不同性能的压电材料，可以得到满足各种使用要求的压电加速度传感器。 当压电式传感器与测量电路配合使用时，方块图如下图所示。在等效电路中就必须将前置放大器的输入电阻Ri、输入电容Ci、以及低噪声电缆的电容Cc包括进去。 因此，当考虑了压电元件的绝缘电阻Rd以后，完整的等效电路可表示成如下图所示的电荷等效电路(a)和电压等效电路(b)。这两种等效电路是完全等效的。 * 第五章 压电式传感器 * 第五章 压电式传感器 5.1压电式传感器 5.2压电式传感器的基本原理 5.3压电材料 5.4压电材料的压电效应 5.5压电元件的应用特点 5.6压电传感器的应用 第五章 压电式传感器 5.1压电式传感器 一、又称自发电式传感器及电势式传感器 是一种典型的有源传感器。 是一种能量转换型传感器。 二、特点 体积小，重量轻，固有频率高，配上适当的电荷放大器，能在0Hz~10KHz的范围内工作； 适合测量变化迅速的参数，适于动态测量； 测量的力值范围:上百吨——几克。 三、应用 目前多用于加速度和动态力或压力的测量。 在超声波、水声换能器、拾音器、传声器、滤波器、煤气点火等方面应用已很普遍。 5.2压电式传感器的基本原理 一、基本原理 基于压电效应。 二、压电效应（1） 某些晶体在一定方向的外力作用下，几何尺寸改变，晶体内部产生极化现象，表面形成电场。外力去除后，表面恢复到不带电的状态。 机械能 电能 ：正压电效应 力学压电传感器都是利用正压电效应工作的。 二、压电效应（2） 反之，若将该材料置于交变的电场中，在外电场的作用下，该材料本身产生机械变形。 注：并不是所有压电晶体都能在各种变形条件下产生压电效应。 电能 机械能 ：逆压电效应/电致伸缩效应 5.3压电材料 一、选取的特性要求 1）具有较大的压电常数； 2）具有较高的固有振动频率； 3）有较高的电阻率； 4）压电特性有较好的时间稳定性； 5）有较高居里点。 居里点：在压电性能破坏时的温度转折点。 二、常见的压电材料（压电晶体、压电陶瓷、有机压电材料） 1、石英晶体 有天然和人工制造两种。石英晶体是最早应用的压电材料,至今石英仍是最重要的也是用量最大的振荡器、谐振器和窄带滤波器等元件的压电材料。 特性：a、有理想的线性，转换效率高，一般无滞后现象，固有频率高； b、稳定性好，时间老化率低，有较高的绝缘阻抗； c、居里点高（573℃），灵敏度变化小，在几百摄氏度以内，压电系数不随温度变化； 但石英晶体的灵敏度低。 2、水溶性压电晶体 这一类包括酒石酸钾钠、硫酸锂、磷酸二氢钾等。 特性：有较高的压电系数和介电常数； 易于受潮，且机械强度较低。 适用于室温和湿度较低的环境下。 3、铌酸锂晶体 是一种透明单晶，熔点为1250 ℃ ，居里点为1