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直拉硅单晶炉热场的改造及数值模拟
第 卷 第 期 人 工 晶 体 学 报
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大直径直拉硅单晶炉热场的改造及数值模拟
任丙彦，刘彩池，张志成，郝秋艳
（河北工业大学半导体材料研究所，天津 ))*) ）
摘要：为了降低大直径硅单晶生长过程中氧的引入，对常规的 （ 英寸）热场进行了改造。
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设计了以矮加热器为核心的复合式加热器系统，使晶体生长过程中熔体热对流减小。通过对热场
的数值模拟计算，分析了热场的温度分布，发现熔体的纵向温度梯度下降，熔体热对流减小，硅单
晶中氧含量降低。
关键词：直拉硅单晶；热场；加热器；热对流；氧含量；数值模拟
中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
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