原子力显微镜的原理及其应用 - 北京大学单分子与纳米生物学实验室.pdfVIP

原子力显微镜的原理及其应用 05 级医学实验 陈曦 刘聃 苏炳男 张志豹 一、引言 在扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microscopy, STM ）和原子力显微 镜（Atomic Force Microscopy, AFM ）发明之前，能直接观测到原子结构的只有 场离子显微镜（Field Ion Microscopy, FIM ）和电子显微镜（Electron Microscopy, EM ）。但是由于这两种显微镜对制片以及操作环境有很大限制，对原子结构的研 究非常有限。然而 STM 和 AFM 的发明，解决了这些问题，使人类对原子的认 识更进了一步，对材料表面现象的研究也更加深入。因为 STM 所运用的是电子 的隧道效应来观测原子结构，所以 STM 只可对导体或者半导体进行分析。而 AFM 打破了这一限制，因为其利用的是探针针尖和待测样本间的范德华力的强 弱来确定样本的表面情况。可以说，AFM 的发明，意义非凡。 二、AFM 的原理 简单来说，原子力显微镜利用了原子间的范德化力与原子间的距离有一个确 定的函数关系这个特性，去探测样品的原子结构和表面情况。AFM 利用自身的 探针去探测样品，探针与样品之间的范德华力与它们之间的距离的函数关系如图 所示： 正如上图所示，原子间既可以表现斥力，也可表现引力，因此 AFM 就有两 种操作模式： （1）接触模式（Contact mode ）：利用原子间的斥力变化探测出样品的表 面情况，探针与样品之间距离约数个Å， （2）非接触模式（Non-contact mode ）：利用原子间的引力变化探测出样 品的表面情况，探针与样品之间距离数十个到数百个Å。 AFM 的实体架构如下图所示： 1. AFM 的组成部分 AFM 主要由三部分组成：力检测部分、位置检测部分、反馈系统。 1.1 力检测部分 AFM 所检测的力是原子间的范德华力，因此这一体系是通过测量其自身的 微小悬臂（Fig.2 中的 cantilever ）与样品原子间的范德华力的变化量，从而确 定样品情况的。微悬臂由一个一般 100~500 μm 长和大约 500nm~5 μm 厚的 硅片或氮化硅片制成，其顶端有一个尖锐针尖，用来检测样品－针尖间的相互作 用力。Cantilever 有许多不同的规格，例如：长度、宽度、弹性系数以及针尖的 形状，这些规格的选择需依照样品的特性以及 AFM 操作模式来确定不同类型的 探针。一下是几种不同模式下的常见探针： 力常数：0.12～2N/m 接触模式 AFM 探针 共振频率：13～105kHz 力常数：3～40N/m 轻敲模式 AFM 探针 共振频率：75～300kHz 力常数：0.12～40N/m 导电AFM 探针 共振频率：13～300kHz 整体镀金或镀铂 横向力显微镜(LFM)探针 矩形悬臂，力常数：0.2～2N/m 力常数：3～40N/m 磁力显微镜(MFM)探针 共振频率：70～300kH 整体镀钴 力常数：3～40N/m 静电力显微镜(EFM)探针 共振频率：70～300kHz 整体镀金或镀铂 超尖 AFM 探针 针尖曲率半径≤1nm 金刚石探针 其他特殊 AFM 探针 力校准探针