基于MEMS光栅平动式光调制器信号处理分析.pdfVIP

第36卷第12期 光 子 学 报 V01．36 NO．12 2007年12月 ACTA PHOTONICA SINICA December 2007 基于MEMS光栅平动式光调制器信号处理分析* 张洁，黄尚廉，张智海，孙吉勇，史玲娜 (重庆大学 光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室，重庆 400030) 摘 要：依据傅里叶光学理论，采用在频谱面上放置两种空间滤波器的方法进行信号处理，分析了 光栅平动式光调制器在成像面上的强度分布情况，实现了对光能量的调制．分析表明：当滤出±1 级谱时，像面上可以得到完全均匀的暗场；但是由于边框和悬臂梁的影响，得不到完全均匀的亮场； 当滤出零频谱时，由于边框和悬臂梁的影响，得不到完全均匀的暗场和亮场．设计时，为了要在像 面上得到更高的亮度均匀性，需要满足可动光栅栅条宽度为光栅周期的一半，同时应尽量减少悬臂 梁和边框的宽度 ． 关键词：衍射；光栅；傅里叶光学；光栅平动式光调制器；信号处理 中图分类号：TN761 文献标识码：A 文章编号：1004—4213(2007)12—2314—5 0 引言 面的反射面和支撑可动光栅做上下位移的蟹型悬臂 梁．基本原理如图2，当不加激励的时候，可动光栅 近年来，随着微 机电系统 (Micro—Electro— 上表面和下反射面的距离为(2n)a／4，根据衍射原 Mechanical Systems，MEMS)技术的成熟，基于 理，衍射能量集中在 0级(暗态)；当加上激励以后， MEMS的光调制器已成为当前研究的热点，应用于 可动光栅向反射面的方向平行移动，此时可动光栅 投影显示等领域【1 ]．比较典型的是德州仪器公司 上表面和下反射面的距离为(2n一1)2／4，入射光以 的数字微镜(Digital Micromirror Device，DMD)，利 一 个特定的角度衍射出去(亮态)，当滤出±1级或 用反射原理，但 DMD是三层结构，加工比较困 者0级衍射光，可以实现对光能量的调制． 难 ]；硅光机械公司的光栅光阀(Grating Light Valve，GLV)是基于衍射的原理，结构简单，但是它 目前只能做到线阵，在面向显示应用时，需要增加一 维机械扫描机构，增加了整个系统的复杂性 ]．重 庆大学提出的基于MEMS的光栅平动式光调制器 (Grating Moving Light Modulator，GMLM) 是 基于相位光栅的原理，通过改变可动光栅和下反射 图1 GMI M结构 面的距离来实现对光能量的调制，加工工艺较DMD Fig．1 One pixel of GMI M Filter 简 单，同时解决了GI V难于形成面阵的缺点． ．．．．．． ．．… ．． ．．一 GMLM在像面上(投影屏幕)的能量分布情况反映 了GMLM的调制性能，所以有必要对GMLM在成 像面上的能量分布情况进行分析．文献[5—6]采用标 量衍射理论对GMLM在频谱面上的能量分布进行 了详细的分析，本文将采用4f系统对GMLM在频 (a)Dark state (b)Bright state 图2 GMI M光学原理 谱面上的信号处理(滤波)、像面上的强度分布情况 Fig．2 GMI M operation(dark and brig