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第43卷第12期 机 械 工 程 学 报 Vo1．43 No．12 2007年 1 2月 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Dec． 2 0 0 7 微制造隔振平台振动的模糊广义预测控制木 张春良 梅德庆2 陈子辰2 (1．南华大学机械工程学院 衡阳 421001： 2．浙江大学现代制造工程研究所 杭州 3 10027) 摘要：采用主动隔振与被动隔振相结合的技术，建立以空气弹簧为被动隔振元件、超磁致伸缩致动器为主动隔振 元件的微制造平台6自由度隔振系统及其结构模型。提出一种改进的自适应广义预测控制算法，并与模糊控制结 合起来，应用于微制造平台的振动控制中，实现广义预测控制与模糊控制的优势互补。计算机仿真与试验结果表 明，所设计的微制造平台模糊广义预测控制系统具有良好的鲁棒稳定性、抗干扰能力和时域性能，可在非常宽的 频率范围内将由干扰所引起的微制造平台的振动在被动隔振的基础上减少80％左右，效果显著。 关键词：微制造平台 隔振 振动主动控制 广义预测控制 模糊控制 中图分类号：TB535．1 0 前言 1 微制造平台隔振系统的模型 微机电系统(Micro electro—mechanical systems， 采用被动隔振与主动隔振相结合的混合隔振技 MEMS)已经成为人们研究的热点领域，而 MEMS 术，以空气弹簧作为被动隔振元件，以超磁致伸缩 的微型性和精密性要求其加工、检测和装配等工作 致动器作为主动隔振元件，建立了微制造平台隔振 必须在具有良好隔振性能的微制造平台上进行【1 】。 系统的结构模型，如图1所示。该隔振系统主要由 微制造平台的精密隔振系统设计需要考虑的环境微 1个平台(材料为铸钢，质量约1．45 t1、4个空气弹 簧(工作压力约0．41 MPa)、8个超磁致伸缩致动器、 振动干扰是复杂的，不仅有地面传来的振动，还有 6个传感器、3个高度控制阀、1套控制系统等组成。 台面仪器设备的运动干扰等。大地脉动型地面振动 其中，4个超磁致伸缩致动器垂直安装、4个超磁致 频率主要为 0～1 Hz，实验室工作人员走动所引起 的振动频率为 1～3 Hz，通风管道、变压器和马达 所引起的振动在6～65 Hz之间，建筑物本身一般在 l0～100 Hz频率之间摆动 J。因此，微制造平台隔 振系统设计需要考虑的振动频率范围为0～100 Hz， 这就要求设计的隔振系统不仅对中高频扰力具有良 好的隔振效果，而且对低频和超低频扰力也能进行 有效的隔离。然而，由于被动隔振装置的固有频率 不能无限制地降低，采用传统的被动隔振技术很难 有效地隔离超低频振动信号，特别是无法隔离由试 验仪器、气流等所产生的直接干扰【4- 。本文采用被 动隔振与主动隔振相结合的混合隔振技术，建立了 微制造平台6自由度隔振系统，并结合广义预测控 制与模糊控制来设计振动主动控制系统。仿真与试 验结果表明，所设计的振动主动控制系统不仅对中、 高频扰力具有良好的隔振效果，而且对低频和超低 频扰力能进行有效的隔振。 $国家自然科学基金资助项目。20o61218收到初稿，20o7o913 图1 微制造平台主动隔振系统结构简图 收到修改稿 2007年12月 张春良等：微制造隔振平台振动的模糊广义预测控制 l95 伸缩致动器水平安装。4个空气弹簧几乎支承微制 一 微制造设备产生的直接干扰力矢量 造平台的全部重量，而超磁致伸缩致动器几乎不承 — — 考虑到安装位置时超磁致伸缩致动器的 受重量。因而能仅仅根据所需的最大位移来确定超 输出