采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量研究.pdfVIP

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2017-07-08 发布于北京
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采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量研究.pdf

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采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量研究.pdf

第26卷第1期仪器仪表学报 2005年1月采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量研究‘ 孙杰刘铁根张以谟江俊峰 (天津大学现代光学仪器研究所光电子信息技术科学教育部重点实验室天津 300072) 摘要提出了一种可以快速实现采用宽带光源的双光束干涉中零光程差位置测量的方法。在测量中，以双光束干涉条纹间距的四分之一大小为采样间隔，以相邻的四个采样值为一组进行相应的干涉条纹调制度计算，以干涉条纹调制度的最大值位置作为零光程差位置。还对光电测量系统中的机械与光电转换精度、采样点位置、采样点密度、双光束光强比、光源相干长度等多方面对测量精度的影响进行了定量分析。关键词干涉调制度光程差精度分析 onMeasurementMethodforPositionwithZero Path of Study Light TwoBeamsofWideBand Source Light Sun Liu Yimo Jie J TiegenZhang Jiangunfeng Scienceand (Ke3，Laboratoryof Information of of Optoelectronics Technology and PrecisionInstrument ot，toelectronics Engineering，TianjinUniversity，Tianjin AbstractThemethodfor the withzero differenceof beams two ofwideband measuringposition lightpath light is theconditionoftheonefourthofthe asthe andthefourdata given．Under periodlength step fringes sampling on modulationof iscalculated．Theofmaximummodulationof isdefinedas group，the fringes position fringes the with difference results zero here．Theeffectstothe ofthe position lightpath machinery transform inthe measurement