一种新型磁芯螺线管微电感的设计与优化-电子器件.PDF

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2017-08-05 发布于天津
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一种新型磁芯螺线管微电感的设计与优化-电子器件

第３８卷第１期电子器件Ｖｏｌ３８　Ｎｏ１２０１５年２月ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎＤｅｖｉｃｅｓＦｅｂ. ２０１５ＤｅｓｉｇｎａｎｄＯｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｏｆＡＮｏｖｅｌＳｏｌｅｎｏｉｄＭｉｃｒｏｉｎｄｕｃｔｏｒｗｉｔｈＭａｇｎｅｔｉｃＣｏｒｅＭａｔｅｒｉａｌ ∗ ＧＥＮＧＹｕｊｉｅꎬＱＵＢｉｎｇｊｕｎ ꎬＹＥＱｉ (ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓꎬＴｓｉｎｇｈｕａＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙꎬＢｅｉｊｉｎｇ１０００８４ꎬＣｈｉｎａ) Ａｂｓｔｒａｃｔ:Ａｎｏｖｅｌｓｏｌｅｎｏｉｄｍｉｃｒｏｉｎｄｕｃｔｏｒｗｉｔｈａｍａｇｎｅｔｉｃｃｏｒｅꎬｗｈｉｃｈｉｓｂａｓｅｄｏｎｉｎｄｕｃｔｉｖｅｃｏｕｐｌｉｎｇꎬｈａｓｂｅｅｎｄｅ￣ＴＭｓｉｇｎｅｄｕｓｉｎｇＨｉｇｈＦｒｅｑｕｅｎｃｙＳｔｒｕｃｔｕｒｅＳｉｍｕｌａｔｏｒ(ＡｎｓｏｆｔＨＦＳＳ )ꎬａｎｄｔｈｅｏｐｔｉｍｉｚｅｄｇｅｏｍｅｔｒｉｃａｌｓｔｒｕｃｔｕｒｅｐａｒａｍｅｔｅｒｓａｒｅｏｂａｉｎｅｄꎬｔｈｅｌｅｎｇｔｈꎬｗｉｄｔｈａｎｄｔｈｉｃｋｎｅｓｓｏｆｔｈｅｉｎｄｕｃｔｏｒａｒｅ７ｍｍꎬ６.６ｍｍａｎｄ０.４４ｍｍｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ.Ｔｈｅｐｅｒｆｏｒｍ￣ａｎｃｅｏｆｔｈｅｎｏｖｅｌｓｏｌｅｎｏｉｄｍｉｃｒｏｉｎｄｕｃｔｏｒꎬｗｈｉｃｈｈａｓｂｅｅｎｆａｂｒｉｃａｔｅｄｂｙａｍｉｃｒｏ￣ｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｙｓｔｅｍ(ＭＥＭＳ) ｐｒｏｃｅｓｓꎬｈａｓｂｅｅｎｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄａｎｄａｎａｌｙｚｅｄｕｓｉｎｇｔｈｅＡｇｌｉｅｎｔＥ４２９４ＡＲＦｉｍｐｅｄａｎｃｅ/ ｍａｔｅｒｉａｌａｎａｌｙｚｅｒ. Ｆｒｏｍｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｒｅｓｕｌｔｓｔｈａｔｔｈｅｈｉｇｈｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆｉｎｄｕｃｔａｎｃｅ(Ｌ)ａｎｄｉｔｓｑｕａｌｉｔｙｆａｃｔｏｒ(Ｑ)ａｒｅｏｂｔａｉｎｅｄｆｒｏｍ１ＭＨｚｔｏ２０ＭＨｚꎬｗｈｉｃｈａｇｒｅｅｗｅｌｌｗｉｔｈｔｈｅｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｒｅｓｕｌｔｓ.ＢｅｓｉｄｅｓꎬｔｈｅＬｖａｌｕｅｉｓｍｏｒｅｔｈａｎ１６ｔｉｍｅｓｔｈａｎｔｈａｔｏｆａｈｏｌｌｏｗｉｎｄｕｃｔｏｒｗｉｔｈｔｈｅｓａｍｅｇｅｏｍｅｔｒｉｃａｌｐａｒａｍｅｔｅｒｓ.Ａｔ１０ＭＨｚꎬｔｈｅＬｖａｌｕｅｉｓ１.１７ μＨꎬａｎｄｔｈｅＱｖａｌｕｅｉｓｍｏｒｅｔｈａｎ５０. Ｋｅｙｗｏｒｄｓ:ＭＥＭＳꎻｍａｇｎｅｔｉｃｃｏｒｅꎻｓｏｌｅｎｏｉｄｍｉｃｒｏｉｎｄｕｃｔｏｒꎻｑｕａｌｉｔｙｆａｃｔｏｒꎻＨＦＳＳ－ＥＥＡＣＣ:２１４０ꎻ２５７５Ｄ　　　　ｄｏｉ:１０.３９６９/ｊ.ｉｓｓｎ.１００５９４９０.２０１５.０１.０１１一种新型磁芯螺线管微电感的设计与优化 ∗ 耿玉洁ꎬ曲炳郡 ꎬ叶　启 (清华大学微电子学研究所ꎬ北京１０００８４) 摘　要:利用ＨＦＳＳ仿真软件对一种基于电感耦合的新型磁芯螺线管微电感进行设计ꎬ并优化得出其结构参数ꎬ该电感尺寸 × × 为７ｍｍ６.６ｍｍ０.４４ｍｍꎮ 利用ＡｇｉｌｅｎｔＥ４２９４Ａ射频阻抗/ 材料分析仪对微机