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新型r4r3微针设计及其力学性能

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 年 月 新型 微针设计及其力学性能 孙 潇 贾书海 朱 军 李以贵 西安交通大学理学院 光信息科学与技术系西安 上海交通大学微纳米科学技术研究院上海 摘要描述了三种新型 微针的结构设计及制备方法 针对微针的实际使用要求对微针的固体力学性质及 微通道内液体的流动情况进行了理论分析和数值模拟 结果表明所设计的三种微针的强度可以保证安全地进行 皮肤注射且适于进行药剂的微量传输 关键词微电子机械系统微针药物传输有限元 中图分类号 文献标识码 文章编号 时液体表面效应及注射压强也必须考虑因此要对 前言 注射流量流速进行控制 微针 是基于微电子机械系统 本文描述了三种新型 微针的结构设计 其直 及其制备方法主要是针对微针的实际使用要求对 径为几十微米长度在 以上的针状结构优 微针的固体力学性质及微通道内液体的流动情况进 点是长度短注射或采样时对皮肤组织的损伤小若 行了理论分析和数值模拟保证了三种微针的安全 干个微针组成的微针阵列在计算机控制下不仅能实 性和适用性 现精确微量无痛注射和采样而且可以使生化检 验的精

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