光电功能薄膜技术（研讨）膜性能表征方法.pdfVIP

薄膜性能表征方法 薄膜的性能取决于薄膜的结构和成分。其中 薄膜结构的研究可以依所研究的尺度范围被 划分为以下三个层次： （1）薄膜的宏观形貌，包括薄膜尺寸、形状、厚度、均 匀性等； （2 ）薄膜的微观形貌，如晶粒及物相的尺寸大小和分布、 孔洞和裂纹、界面扩散层及薄膜织构等； （3 ）薄膜的显微组织，包括晶粒内的缺陷、晶界及外延 界面的完整性、位错组态等。 针对研究的尺度范围，可以选择不同的研究手段。 薄膜性能表征方法 光谱的测量 微结构的评估 电子显微技术 扫描探针技术 X 射线衍射分析 拉曼散射 化学成分的评估 机械性能的测量 电子显微技术 入射电子束 特征X射线 背散射电子