基于强激光辐照固体锡靶产生极紫外光源的实验研究3.pdfVIP

第 57 卷 第 8 期 2008 年 8 月 物 　理 　学 　报 Vol . 57 ,No . 8 ,August ,2008 ( ) 10003290200857 08 510005 ACTA PHYSICA SINICA 2008 Chin . Phys. Soc . 基于强激光辐照固体锡靶产生极紫外 光源的实验研究 蔡 　懿 　王文涛 　杨 　明　刘建胜 　陆培祥 　李儒新 　徐至展 ( 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室 ,上海 　201800) (2007 年 10 月 27 日收到 ;2008 年 3 月 7 日收到修改稿) ( ) 　　建立了一套利用高功率 YAG激光器辐照固体锡靶产生高转换效率极紫外光 extreme ultraviolet 源的实验装 置. 利用建立的实验装置开展了极紫外光源的强度和转换效率与抽运激光强度关系的实验研究 ,发现极紫外光源 的转换效率随抽运激光强度的变化具有饱和效应. 实验发现 :当抽运激光能量达到 250 mJ 时 ,极紫外光源的转换效 率最高 ,波长为 135 nm 处 027 nm 带宽范围内的极紫外光源的能量转换效率为 16 % ,此时对应的激光强度为 18 11 2 ×10 Wcm . 关键词 : 极紫外光 , 转换效率 PACC : 5225P , 5250J , 3370J [6 ] 度 、激光波长 、聚焦光斑大小以及多脉冲等作用 . 1 引 言 常用来做极紫外光源研究的靶材有氙[7 ] 、锡[8 ,9 ] 、 氧[ 10 ] 和锂[ 11 ,12 ] 等 ,其中锡等离子体的极紫外光转换 强激光与物质相互作用产生的激光等离子体可 效率尤为高[8 ] ,而且有装置结构简单的优点. 有关激 以认为是一个高效的 X 射线源 ,在许多方面有着广 光与锡平板直接作用产生极紫外光转换效率最好的 [ 1] [2 ] 泛的应用 ,如 X 射线摄像术 、光刻 等 ,也可作为 ( ) 结果都在 15 % 135 nm 波长 , 027 nm 带宽 左 [3 ,4 ] ( [