- 1、本文档共5页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
教学大纲-吉林大学机械科学与工程学院
《微小机械概论》教学大纲
课程编码课程名称:微小机械概论
英文名称:AN INTRODUCTION TO MICROMACHINE
开课学期:6
学时/学分:30 / 1.5
课程类型:学科基础课
开课专业:机械科学与工程学院各专业
选用教材:《微机械与微细加工技术》 苑伟政、马炳和编著 西北工业大学出版社2000年版。
主要参考书:
1、王琪民编著::::
三、各章节内容及学时分配
第一章 绪论(2学时)
教学目的与要求
通过本部分的学习,要求学生掌握微小机械基本概念,了解有关国内外研究发展综述。
教学内容
一、微小机械的基本定义
二、微机电系统的尺度范围及相应定义
三、微机电系统的组成
四、微机电系统的起源与发展
五、MEMS的种类与用途
六、国内研究机构
七、国外研究机构
考核要求
了解:了解微小机械产生的历史背景和发展进程;了解具体研究趋势以及主要用途等。
掌握:微小机械基本概念,微机电系统的特点和微机电系统的驱动方式。
微机械理论基础(4学时)
教学目的与要求
通过本部分的学习,要求学生了解微机械学、微动力学、微电子学、微光学、微流体力学、微/纳摩擦学、纳米生物学、分子装配技术。
教学内容
笫一节 微机械学
微动力学
笫三节 微电子学
微光学
微流体力学
微摩擦学
纳米生物学
分子装配技术
考核要求
了解:微机械学、微动力学、微电子学、微光学、微流体力学、微/纳摩擦学、纳米生物学、分子装配技术。
掌握:尺寸效应;材料特性对微结构的影响。
第三章 微机电系统结构材料及性能(6学时)
教学目的与要求
通过本部分的学习,要求学生掌握主要的微小机械材料及其特性,包括硅材料、形状记忆合金、压电材料、电致伸缩材料/磁致伸缩材料、电流变/磁流变材料、有机聚合物、膨胀合金、金刚石材料等。
教学内容
用于 MEMS金属及金属合金
一、形状记忆合金
二、膨胀合金
硅材料
一、单晶硅
二、多晶硅
三、硅—蓝宝石
四、化合物半导体材料
陶瓷材料和聚合物
一、石英晶体
二、压电陶瓷
三、聚偏二氟乙烯薄膜
四、ZnO压电薄膜
第四节 磁致伸缩材料
第五节 其它材料
一、金刚石
二、纳米相材料
三、电流变液和磁流变液材料
考核要求
了解:用于 MEMS金属及金属合金。
掌握:主要的微小机械材料及其特性,包括硅材料、形状记忆合金、压电材料、电致伸缩材料/磁致伸缩材料、电流变/磁流变材料、有机聚合物、膨胀合金、金刚石材料等。
笫四章 微机械加工制备方法(6学时)
教学目的与要求
通过本部分的学习,要求学生掌握体(去除)加工技术、LIGA技术;了解表面微加工技术和其它加工工艺。
教学内容
体(去除)加工技术
一、湿法腐蚀
二、干法腐蚀
三、离子腐蚀
四、激光驱动体腐蚀工艺
表面微加工技术
一、薄膜生成技术
二、牺牲层技术
LIGA技术
其它加工工艺
一、键合技术
二、特种精密机械制造技术
微机械装配及测试技术
考核要求
了解:薄膜生成技术,包括物理气相淀积、化学气相淀积;牺牲层技术;键合工艺。
掌握:体加工技术,包括多种腐蚀工艺;LIGA工艺。
微检测技术和微传感器(6学时)
教学目的与要求
通过本部分的学习,要求学生了解现代微观检测方法和设备;了解微机械结构的几何尺寸测量;掌握几种典型的微型传感器。
教学内容
现代微观检测方法与设备
一、扫描探针显微镜
二、干涉与测量
微机械结构的几何尺寸测量
一、测量方法的分析与选择
二、基于光切法的微结构尺寸测量
物理量测量
一、弹性模量测量
二、残余应力测量
微传感器
一、电量检测传感器
二、机械量微传感器
三、物理量微传感器
四、化学和电化学微传感器
五、生物微传感器
考核要求
了解:现代微观检测方法与设备;微机械结构的几何尺寸测量。
理解:检测方法的测量原理;
掌握:典型的微传感器(压力传感器、加速度计、陀螺、生物传感器等)的结构、检测原理和应用情况。
第六章 微致动器及其它微器件(6学时)
教学目的与要求
通过本部分的学习,要求学生掌握微马达等微致动器;掌握微泵、微阀等微执行器;了解典型微型机械电子系统与微机器人。
教学内容
微致动器
一、微马达
二、磁致伸缩致动器
三、流变体致动器
四、其它致动器
笫二节 微执行器
一、微泵
二、微阀
第三节 微系统
一、微型开关
二、微型飞行器
三、微型机器人
四、其它微系统
考核要求
了解:国内外在微机电系统方面的研究成果和应用情况。
理解:微致动器、微执行器和微系统的设计理论。
掌握:典型的微致动器、微执行器和微系统的结构、工作原理及其应用。
四、实验:无
五、考核方式:
根据平时上课出勤情况,课堂讨论表现情况,作业完成情况及课堂小测验成绩,教师按优、良、中、
文档评论(0)