教学大纲-吉林大学机械科学与工程学院.doc

《微小机械概论》教学大纲 课程编码课程名称：微小机械概论 英文名称：AN INTRODUCTION TO MICROMACHINE 开课学期：6 学时/学分：30 / 1.5 课程类型：学科基础课 开课专业：机械科学与工程学院各专业 选用教材：《微机械与微细加工技术》 苑伟政、马炳和编著 西北工业大学出版社2000年版。 主要参考书： 1、王琪民编著：：：： 三、各章节内容及学时分配 第一章 绪论（2学时） 教学目的与要求 通过本部分的学习，要求学生掌握微小机械基本概念，了解有关国内外研究发展综述。 教学内容 一、微小机械的基本定义 二、微机电系统的尺度范围及相应定义 三、微机电系统的组成 四、微机电系统的起源与发展 五、MEMS的种类与用途 六、国内研究机构 七、国外研究机构 考核要求 了解：了解微小机械产生的历史背景和发展进程；了解具体研究趋势以及主要用途等。 掌握：微小机械基本概念，微机电系统的特点和微机电系统的驱动方式。 微机械理论基础（4学时） 教学目的与要求 通过本部分的学习，要求学生了解微机械学、微动力学、微电子学、微光学、微流体力学、微/纳摩擦学、纳米生物学、分子装配技术。 教学内容 笫一节 微机械学 微动力学 笫三节 微电子学 微光学 微流体力学 微摩擦学 纳米生物学 分子装配技术 考核要求 了解：微机械学、微动力学、微电子学、微光学、微流体力学、微/纳摩擦学、纳米生物学、分子装配技术。 掌握：尺寸效应；材料特性对微结构的影响。 第三章 微机电系统结构材料及性能（6学时） 教学目的与要求 通过本部分的学习，要求学生掌握主要的微小机械材料及其特性，包括硅材料、形状记忆合金、压电材料、电致伸缩材料/磁致伸缩材料、电流变/磁流变材料、有机聚合物、膨胀合金、金刚石材料等。 教学内容 用于 MEMS金属及金属合金 一、形状记忆合金 二、膨胀合金 硅材料 一、单晶硅 二、多晶硅 三、硅—蓝宝石 四、化合物半导体材料 陶瓷材料和聚合物 一、石英晶体 二、压电陶瓷 三、聚偏二氟乙烯薄膜 四、ZnO压电薄膜 第四节 磁致伸缩材料 第五节 其它材料 一、金刚石 二、纳米相材料 三、电流变液和磁流变液材料 考核要求 了解：用于 MEMS金属及金属合金。 掌握：主要的微小机械材料及其特性，包括硅材料、形状记忆合金、压电材料、电致伸缩材料/磁致伸缩材料、电流变/磁流变材料、有机聚合物、膨胀合金、金刚石材料等。 笫四章 微机械加工制备方法（6学时） 教学目的与要求 通过本部分的学习，要求学生掌握体（去除）加工技术、LIGA技术；了解表面微加工技术和其它加工工艺。 教学内容 体（去除）加工技术 一、湿法腐蚀 二、干法腐蚀 三、离子腐蚀 四、激光驱动体腐蚀工艺 表面微加工技术 一、薄膜生成技术 二、牺牲层技术 LIGA技术 其它加工工艺 一、键合技术 二、特种精密机械制造技术 微机械装配及测试技术 考核要求 了解：薄膜生成技术，包括物理气相淀积、化学气相淀积；牺牲层技术；键合工艺。 掌握：体加工技术，包括多种腐蚀工艺；LIGA工艺。 微检测技术和微传感器（6学时） 教学目的与要求 通过本部分的学习，要求学生了解现代微观检测方法和设备；了解微机械结构的几何尺寸测量；掌握几种典型的微型传感器。 教学内容 现代微观检测方法与设备 一、扫描探针显微镜 二、干涉与测量 微机械结构的几何尺寸测量 一、测量方法的分析与选择 二、基于光切法的微结构尺寸测量 物理量测量 一、弹性模量测量 二、残余应力测量 微传感器 一、电量检测传感器 二、机械量微传感器 三、物理量微传感器 四、化学和电化学微传感器 五、生物微传感器 考核要求 了解：现代微观检测方法与设备；微机械结构的几何尺寸测量。 理解：检测方法的测量原理； 掌握：典型的微传感器（压力传感器、加速度计、陀螺、生物传感器等）的结构、检测原理和应用情况。 第六章 微致动器及其它微器件（6学时） 教学目的与要求 通过本部分的学习，要求学生掌握微马达等微致动器；掌握微泵、微阀等微执行器；了解典型微型机械电子系统与微机器人。 教学内容 微致动器 一、微马达 二、磁致伸缩致动器 三、流变体致动器 四、其它致动器 笫二节 微执行器 一、微泵 二、微阀 第三节 微系统 一、微型开关 二、微型飞行器 三、微型机器人 四、其它微系统 考核要求 了解：国内外在微机电系统方面的研究成果和应用情况。 理解：微致动器、微执行器和微系统的设计理论。 掌握：典型的微致动器、微执行器和微系统的结构、工作原理及其应用。 四、实验：无 五、考核方式： 根据平时上课出勤情况，课堂讨论表现情况，作业完成情况及课堂小测验成绩，教师按优、良、中、