建立不同背压条件下之化学机械研磨制程有限元素模式-德霖.DOC

行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 (成果報告 □期中進度報告 超微細鑚孔原子級有限元素模式之建立及模擬 計畫類別：( 個別型計畫　　□ 整合型計畫計畫編號：NSC 98-2221-E-237 -006 -　　　　　　　　　　　　 執行期間：98年08月01日至99年07月31日 計畫主持人：邱進東 共同主持人：張達元 計畫參與人員：賴俊男 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：(精簡報告 □完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件：□赴國外出差或研習心得報告一份□赴大陸地區出差或研習心得報告一份□出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份□國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、列管計畫及下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢 執行單位：德霖技術學院機械工程系 中 華 民 國　　99 　年　9　月 　30　 日 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 超微細鑚孔原子級有限元素模式之建立及模擬 Atomistic Finite Element Modeling and Simulation of Ultra Micro Drilling 計畫編號： NSC 98-2221-E-237 -006 - 執