直管型科氏质量流率计之管路模态分析.pdfVIP

直管型科氏質量流率計之管路模態分析 陳佑誠＊ 摘要 本文是應用有限元素及 田口法分析的方法 ，來探討直管型科氏質量流率計設計上管路各 項重要因素間的關係和影響 。文中首先討論各式質量流率計的基礎理論，再針對科氏質量流 率計的訊號處理方塊圖 ，進一步瞭解科氏質量流率計的作動原理。最後以一科氏質量流率計 的直管型科氏管進行有限元素分析法分析 ，再配合田口法整理分析之數據，求得科氏管最佳 刺激頻率之材料 、尺寸的關係 。並藉由此一分析求得科氏管於上下游處 ，裝置訊號感測器的 最佳位置 。由本文分析結果獲得直管型柯氏質量流率計設計的重要數據 ，並奠定未來製作柯 氏質量流率計及柯氏質量流率控制器的基礎 。 關鍵詞: 質量流率控制器 、質流控制器、質量流率計、質流計 Abstract In this paper we apply finite element analysis and Taguchi method on designing a straight tube Coriolis mass flowmeter, to obtain the key design criteria. First, we present the basic theories of different type of mass flowmeters. Second, we use a signal processing diagram of Coriolis mass flowmeter to show the basic design concept. Finally, we construct a finite element model of the straight Coriolis tube, to analyze and derive an appropriate Coriolis tube excitation frequency, and its relationship with material and size of the tube using Taguchi method. Furthermore, we also derive the sensor location from the above analysis. Base on this study, we acquire important data on 陳佑誠* 高雄高工製圖科職員/國立屏東科技大學機械系碩士畢業 how to design a straight tube Coriolis mass flowmeter, it provides us with a solid foundation on building a straight tube Coriolis mass flowmeter and Coriolis mass flow controller. Key words: mass flow controller, MFC, mass flowmeter, MFM 目次 一、 前言 二、 理論說明 三、 科氏式質量流率計之設計原理 四、 管路模態分析 五、 結果與討論 六、 參考文獻 一、前言 在半導體及化學工業設備中 ，需要使用各種不同的氣、液流體。而在流體的供應過程 中，流量的控制是整個設備製程中非常重要的一環 。因此正確的流量控制將直接影響製程的 良率 ，也關係者整座工廠的獲利狀況。以半導體廠而言，目前半導體廠中所使用的質量流率 控制器(Mass Flow Controller)或質