精密测量系统气浮工作台瞬态控制方法.pdfVIP

第29卷第4A期 计 量 学 报 V01．29．№4A 2008年9 月 ACTA MEn {0LOGI CA SINI CA Se p t emb er ，200 8 精 密 测 量 系 统 气 浮 工 作 台 瞬 态 控 制 方 法 卢明臻， 高思田， 施玉书， 杜 华， 崔建军 ( 中国计量科学研究院，北京1000 13) 摘要：气浮工作台是精密仪器中常用的位移机构。为了消除气体微振动对精密测量的影响，提出了气浮工作 台区分两种 工作模式：运动模式和测量模式。在掌握气体 止推轴承上气和排气的瞬态过程规律的基础上 ，提出了 一种模式切 换过程中气浮工作台的瞬态控制方法，实现其运动模式和测量模式的平稳过渡。气浮工作台在上气过 程中的偏移不大于25 0 nl n，排气过程 中的偏移不大于200 n l n ，且经历时问在0 ．3 左右 。该方法 的提出提高了气浮 工作台的性能，使之成为测量系统中优 良的大范围位移系统。 关键词：计量学；精密测量；气体轴承；微振动；瞬态；控制 中图分类号：TB92 文献标识码：A 文章编号：1000—1158(200 8) 4A一00 11- 04 A Met hod f or Tr an i ent Cont r ol of t he Ai r Bear i ng St age i n a Pr eci i on Mea ur ement Sy t em LU Mi ng—zh en， GAO Si —t i an ， SHI Yu— hu，DU Hu a， CUI J i an—j un ( Nat i onal I n t i t ut e of Met r ol ogy ，Bei j i ng 10 00 13 ，Chi na ) Ab t r a ct ：mr beaI i ng t age i wi del y u e d i n pr eci i on i n t r ume nt ．I n or der t o el i mi nat e di t ur ban ce ca u e d by i nher ent mi — cr o-vi br at i on of a er o t a t i c t hr u t bear i ng t o t he r e u lt ，it i pr opo e d t o di t i ngui h t wo mode of ai r beat i ng t a ge ：mot i on mode a nd mea ur e me nt mode．On t he ba i o f t ud y o f t he t r an i ent t a t e i n char gi ng an d exhau t i ng o f ai r bea r i ng，a t r an i ent contr ol met h od of ai r b e撕n g t age i pr e ent ed，whi c h r e al i ze moot h t ran it i on of t he t wo mode ．I n one exper i ment ，devi at i on o f