精密转台在平面度检测中的应用.pdfVIP

第 37 卷，增刊 红外与激光工程 2008 年 4 月 Vol .37 Supplement Infrared and Laser Engineer ing Apr. 2008 精密转台在平面度检测 中的应用 景洪伟 ，吴学巧，曹学东，匡 龙 ，吴时彬 （中国科学院光电技术研究所，四川 成都 10209） 摘要 ：介绍 了一种使用精密转台，千分表 ，0 级平尺 ，光 电自准直仪测量非连续平面零件平面 度的方法 。用该方法测量了一件直径 Ф 2 310 mm 的非连续平面零件并给出其数据处理方法和测量 结果 。对这种测量方法进行 了测量不确定度分析其结果为 5 µm 。 关键词 ：精密转 台； 平面度测量 中图分类号：TN2 1 文献标识码：A 文章编号：1007-227 (2008)增( 几何量) -0141-03 Flatn ess measur ement u sin g pr ecision r otar y tab le JING Hong-wei, WU Xue-qiao, CAO Xue-dong, KUANG Long, W U Shi-bin (Inst itut e of Optics and Ele ctr onics ,Chine se Ac ademy of Sc ience s,Chengdu 10209, C hina) Ab st r act : A meth od of flatness measurement of non continuous flat part usin g precision rotary tab le,micrometer ,flat ruler ，autocollimati on is introduced.A noncontinuous flat part with Ф2 310mm diameter was measured; the data processing method an d measuring resu lt s were given.The measurement uncertainty of the method is 5 µm. Key wor d s: Precision rotary tab le； Flatness measu-rement 0 引 言 示 ）。测量时每旋转一定的角度记一次数据 ，并建立 极坐标系，原点位于精密转 台回转 中心。 对于大型非连续平面零件，常用 的测量方法是使 用三坐标测量机对其进行测量[1- ] 。但随着制造 向超 大型方向发展 ，测量机受行程限制无法进行测量，为 此必须研究新的检测方法。介绍 了一种使用精密转 台，千分表 ，0 级平尺，光 电自准直仪测量非连续平 面零件平面度 的方法 。 1 测量原理 图 1 测量原理图 测量原理 图如图 1 所示 ，测量机构由精密转 台 Fig .1 Measurement setup (RT)+ 测量臂(arm)+ 测头(prob e)组成 ，图中灰色的两 测量完成后测量 出测头 在测量臂不 同位置处的 个环带为被测平面 ，要求两个环带共面，并对公共平 位置情况，得出直线性数据。然后对各圈数据进行平 面的平面度提 出要求。调整测头在测量臂上的位置 ， 移修正 。将极坐标系转换为直角