万克树《材料分析测试技术》3.1电子能谱.pptVIP

* 用电子束作为激发源的优点是：（1）电子束的强度大于X射线源多个数量级；（2）电子束可以进行聚焦，具有很高的空间分辨率；（3）电子束可以扫描，具有很强的图像分析功能；（4）由于电子束束斑直径小，具有很强的深度分析能力。 然而XAES 也具有很多优点：（1）由于X射线引发的二次电子较弱，俄歇峰具有很高的信/背比；（2）X射线引发的俄歇电子具有较高的能量分辨率；（3）X射线束对样品的表面损伤小得多。 电子束激发 (EAES)与X射线激发俄歇电子能谱(XAES)的比较 * 俄歇电子能谱的分析技术 俄歇电子能谱的定性分析 俄歇电子能谱的半定量分析 俄歇电子能谱的深度分析 俄歇电子能谱的微区分析 * 俄歇电子的能量仅与原子本身的轨道能级有关，与入射电子的能量无关，也就是说与激发源无关。 对于特定的元素及特定的俄歇跃迁过程，其俄歇电子的能量是特征的。由此，我们可以根据俄歇电子的动能用来定性分析样品表面物质的元素种类。 定性分析方法可适用于除氢、氦以外的所有元素，对未知样品的定性鉴定是非常有效的。 俄歇电子能谱的定性分析 * 由于激发源的能量远高于原子内层轨道的能量，一束电子束可以激发出原子芯能级上的多个内层轨道电子，再加上退激发过程中还涉及到两个次外层轨道的电子跃迁过程。 因此，多种俄歇跃迁过程可以同时出现，并在俄歇电子能谱图上产生多组俄歇峰。尤其是对原子序数较高的元素，俄歇峰