三维花状氧化锌纳米结构的水热合成与气敏特性资料.pdfVIP

第36卷 第5期 电 子 元 件 与 材 料 Vol.36 No.5 2017年5月 ELECTRONIC COMPONENTS AND MATERIALS May 2017 研 究 与 试 制 三维花状氧化锌纳米结构的水热合成与气敏特性 1 2, 3, 4 孙社稷 ，樊慧庆 （1. 西安宏星电子浆料科技有限责任公司，陕西 西安 710065；2. 辐射探测材料与器件工信部重点实验室，陕西 西安 710072；3. 凝固技术国家重点实验室，陕西 西安 710072；4. 西北工业大学 材料学院，陕西 西安 710072） 摘要: 采用低温水热合成法制备了氧化锌 （ZnO）三维花状纳米结构，通过粉末 X射线衍射仪 （XRD）、扫描 电子显微镜 （SEM）、高分辨透射电子显微镜 （HR-TEM）和选区电子衍射 （SAED）等研究分析了其相结构与微 –6 观形貌特征，并测试了基于氧化锌三维纳米花所制作传感器的气敏性能。该气体传感器对体积分数为 300×10 乙 –6 醇的检测灵敏度可达 78.05，响应和恢复时间分别为 8 s和 9 s，对乙醇的检测浓度下限为体积分数 4.67×10 ，且 具有优良气体选择特性。这一工艺过程的方法简单、可控性好，适合规模化生产。 关键词: 氧化锌；三维花状纳米结构；低温水热合成；气敏传感器；灵敏度；选择性 doi: 10.14106/ki.1001-2028.2017.05.013 中图分类号: O621.25；TB 383.1 文献标识码:A 文章编号:1001-2028 （2017）05-0062-05 Hydrothermal synthesis and gas sensor properties of three-dimensional ZnO nano folwers 1 2, 3, 4 SUN Sheji , FAN Huiqing (1. Xi’an Hongxing Electronic Paste Co., Ltd, Xi’an 710065, China; 2. RDMD Key Laboratory of Ministry of Industry and Information Technology, Xi’an 710072, China; 3. State Key Laboratory of Solidification Processing, Xi’an 710072, China; 4. School of Materials Science and Engineering, Northwestern Po