1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 高等教育
  5. 工学

微电子技术（周雪峰）4-光刻-zxf.pdfVIP

  • 21
  • 0
  • 约2.55万字
  • 约 81页
  • 2017-07-11 发布于浙江
  • 举报

微电子技术（周雪峰）4-光刻-zxf.pdf

    芯片制造过程芯片制造过程 核心核心 工艺工艺工艺工艺 1 微电子核心工艺 硅片 氧化、淀积、蒸发形成膜层;或对特 定的膜层进行掺杂 用掩膜版 曝 光 重复重复 20-30次 刻 蚀 测试和封装

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >