系统仿真技术在薄膜工艺研究中的应用论文.pdfVIP

薄膜硅太阳电池及材料．207． 系统仿真技术在薄膜工艺研究中的应用 王庆章赵庚申许盛之王瑜 ’ ， 7 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所天津300071 【摘 要】 仿真技术是一门全新的学科和功能强大的工具，但在国内的薄膜工艺研究领域 仿真技术还很少得到关注。本文利用软件FLUENT对薄膜工艺喷雾气流场做了 流体力学仿真，通过仿真得到的结果，大大提高了设计的效率，降低了设计成 ， 本；加深了对薄膜工艺过程的了解，带来新的研究思路。 【关键词】 系统仿真薄膜沉积喷雾气流场 0引言 系统仿真(System 就是在数学建模的基础上利用计算机及其图形处理技术，对现实的或者设想的系统进行模 拟。其严格的定义是：仿真技术是以相似原理、信息技术、系统技术及其应用领域有关的专 业技术为基础，以计算机和各种物理效应设备为工具，利用系统模型对实际的或设想的系统 进行试验研究的一门综合性技术[1】。美国政府在预测2l世纪的关键技术时，将系统仿真技 术列为最关键的技术之一。‘ 本文在《纳米氧化物薄膜超声快速沉积技术及产业化》‘研究项目中的喷头设计中利用 软件FLUENT对喷雾气流场做了流体力学仿真，通过仿真得到的结果，一方面可以在不需要 实际制造喷头情况下验证喷头的设计效果，大大提高了设计的效率和降低了设计成本；另一 方面给出了全面、详细而又直观的结果，使研究者加深了对薄膜工艺过程的了解。． 1 FLUENT软件对喷射的气流场的仿真 内的复杂流动。由于采用了多种求解方法和多重网格加速收敛技术，因而FLUENT能达到最 佳的收敛速度和求解精度。 · 分三个步骤使用FLUENT软件对流场进行仿真： ·数学建模：通过建立控制方程来描述流体力场。 ·天津科技培育项目(043101311)。 ·208· 中国太阳能光伏进展 ·几何建模：构建立体几何图形，并对图形进行网格划分，采用的工具是Gambit。 ·利用求解器计算以及后处理(图形化显示计算结果)。 1．1 数学建模 。 ，● 、- 因为不同的流动采用的数学模型是不一样的，所以在对流场建立数学模型时，首先要确 定流体的类型和流动的方式。按照流体的黏性可以分为无粘流体和黏性流体，但是无粘流体 只是一种为了理论研究方便而假定的理性流体，实际的流体都是具有黏性的。而黏性流体质 点的运动在不同的初始和边界条件下会出现不同的状态，一种是作无规则不定向的混杂运动， 即湍流状态，另一种是所有流体质点作定向有规则的运动，即层流状态。根据雷诺数Re来 判断是湍流还是层流： ‘ Re：旦 ． (1) ’ y 其中，1，为流体速度，肋运动黏度，d为管径(对于非圆形断面的管道，以当量直径以进行 计算)。当Re2320时，管中是层流；Re2320时，管中是湍流。 在本实验中，流体流动的速度不是已知的因素，而是气体的流量，因此需要对式(1) 进行变换，得到下式：