单步扩散制程的选择性发射极太阳电池制作.PDF

1 1 2, 3 林景熙 、龙健华 、陈永芳 、 戴煜暐2 1 单步扩散制程的选择性 、徐伟智 1工业技术研究院绿能所，新竹县 竹东镇中兴路4段195号78馆402 发射极太阳电池制作 室，310 台湾 2新日光能源科技股份有限公司， 新竹市科学工业园区力行三路7 号，300 台湾 3国立台湾大学物理系，台北市罗 此技术文章选自第十期印刷版《Photovoltaics International》季刊 斯福路四段1号，106 台湾 摘要: 选择性发射极技术能够有效提升太阳电池效率。从结构上来说，传统的太阳电池表面有一层掺杂浓度相对均匀 的磷扩散层，称为发射极，为了保持网印银浆电极与发射极之间良好的电极接触性能，发射极需要较高的表面掺杂浓 度，从电性上来看，即需要较低的片电阻值，然而电极之间较高的表面掺杂浓度会造成蓝光吸收损耗与自由载子表面 再结合损耗，不利于实现高光电转换效率，选择性发射极即为克服上述困难的有效技术。所谓的选择性发射极结构， 其电极下方的发射极有较高的表面掺杂浓度，另一方面，电极之间的发射极区域则为较低的表面掺杂以同时减少光学 与电性损耗。一般常用的选择性发射极结构中，其电极下方发射极的掺杂浓度偏高，虽然高掺杂浓度具有低串联电阻 的好处，但是高掺杂浓度也影响了电极与其下方发射极之间的界面性质。本篇文章纪录了我们开发的新型选择性发射 极结构，电极下方的发射极采用较传统低的掺杂浓度，也就是电极下方的发射极仍然有较高的片电阻值，在维持电极 接触性能的条件下改善电极与其下方发射极之间的界面性质，降低自由载子在电极界面的再结合损耗，生产线上的批 量实验结果显示，相较于传统商用太阳能电池，此种新型选择性发射极太阳能电池，其光电转换绝对效率平均能够提 升约 0.4%。 前言 是经由磷掺杂浓度的最佳化调整来维 的表面掺杂浓度，另一方面，电极之 持较高的太阳能电池转换效率。另一 间的发射极区域则为较低的表面掺杂 太阳能电池发电持续受到广泛的 种发射极最佳化的技术就是所谓的选 以同时减少光学与电性损耗，因此选 关注，市场规模也持续的扩大，一般 择性发射极技术，所谓的选择性发射 择性发射极结构其电极之间区域能够 来讲，硅晶太阳能电池仍将是未来太 极结构，其电极下方的发射极有较高 有相对较好的蓝光量子效率(quantum 阳光伏产业的主流，研究人员持续在 这个领域贡献心力，开发出具有更高 光电转换效率与更低制作成本的新一 代太阳能电池，随着石化资源的持续 短缺，在可预见的未来，包括太阳能 电池发电在内的可再生能源终将在全 球能源市场里占有举足轻重的地位。 太阳能电池产业能否持续扩大发 展，价格是关键因素，可藉由降低制 程成本，或者是藉由提升太阳能电池 转换效率来降低价格。如果能在有限 的额外投资下提升太阳能电池转换效 率，这样的技术将具有非常大的产业 价值。本篇文章报告了我们新开发的 低成本选择性发射极技术，只需要一 道磷扩散制程即可获得选择性发射极 结构，本技术还具有适用于量产的网 印电极制程，可迅速应