微机械与微细加工技术!.pdfVIP

第44卷第1期 时 代 农 机 2017年1月 Vol.44 No.1 TIMES AGRICULTURAL MACHINERY Jan.2017 微机械与微细加工技术 刘冬梅 ，夏景攀1 2 （1.信阳高级技工学校，河南 信阳 464000；2.河南工业技师学院，河南 郑州 450007） 摘 要：通过对微机械和微细技工技术概念、特点，国内外发展情况以及微细加工部分工艺的描述、微机械的运用 等，认识和了解国家在微细加工技术上的长处和不足，促进我国微细加工行业的发展。 关键词：微机械；微细加工；先进制造技术 中图分类号：TH703 文献标识码：A 文章编号：2095-980X（2017）01-0036-02 Micromachining and Microfabrication Technology LIU Dong-mei ，XIA Jing-pan1 2 （1.Xinyang Senior Technical School，Xinyang，Henan 464000，China； 2.Henan Industrial Technician College，Zhengzhou，Henan 450007，China） Abstract：Basedonthemicromechanicalandmicromechanicstechnologyconcepts，characteristics，developmentandmicro processingtechnologyathome andabroad，somemicro machinery and soon，the paperrecognizes andunderstandsthe national strengthsandweaknessinmicromachiningtechnologyinordertopromotemicroprocessingindustryinChina’sdevelopment. Keywords：MEMS；micromachining；advancedmanufacturingtechnology 微细加工技术是精密加工技术的一个分支，面向微细加 感器问世，其后开发出尺寸为50μm~500μm的齿轮、齿轮 工的电加工技术，激光微孔加工、水射流微细切割技术等在发 泵、气动涡轮及联接件等微机械。1987年美国加州大学伯克 展国民经济，振兴我国国防事业等方面都有非常重要的意义。 利分校研制出转子直径为60μm~12μm 的利用硅微型静电 这一领域的发展对未来的国民经济、科学技术等将产生巨大 机，显示出利用硅微加工工艺制造小可动结构并与集成电路 的影响，先进国家纷纷将之列为未来关键技术之一并扩大投 兼容以制造微小系统的潜力。加州大学伯克利传感器和执行 资和加强基础研究与开发。 器中心（BSAC）得到国防部和十几家公司资助 1500万元后， 建立了1115m 研究开发MEMS的超净实验室。1988年德国2 1 微机械的概念 开始微加工十年计划项目，其科技部于1990~1993年拨款4 微机械是指集成了微电子和微机械（或光学、化学、生物 万马克支持“微系统计划”研究。1991年日本通产省开始启动 等方面微元件）的系统。它以微米尺度理论为基础，用批量化 一项为期 10年、耗资250亿日元的微型大型研究计划。在国 的微电子技术和三维加工