自动检测与仪表压力检测.pptVIP

第二篇 过程参数检测技术 5.2 常用压力检测仪表 电容式压力传感器 ㈢电容式传感器 电容式传感器的基本原理 电容量C的大小 与S、d和ε有关， 若保持这三个参数中的 两个不变而改变另一个， 则C就会发生变化。 S —极板相对覆盖面积 d —极板间距离 εr—相对介电常数 ε0—真空介电常数 ε —电容极板间介质的介电常数 d S ε 5.2 常用压力检测仪表 电容式压力传感器 ㈢电容式传感器 变面积(S)型: 变极距(d)型: 变介电常数(ε)型: 电容式传感器的三种类型 5.2 常用压力检测仪表 电容式压力传感器 ㈢电容式传感器 P 2 玻璃盘 镀金层 金属 膜片 C 2 电极引线 p 1 C 1 电容式差压传感器 结构简单、灵敏度高、响应速度快(约100ms)， 能测微小压差(0～0.75Pa)、真空或微小绝对压力， 需把膜片的一侧密封并抽成高真空(10-5Pa)即可。 5.2 常用压力检测仪表 压电式压力传感器 ㈣压电式传感器 压电式传感器是一种典型的有源传感器（属于发电型传感器）。 压电式传感器元件是力敏感元件，所以它能测量最终能变换为力的那些物理量，例如力、压力、加速度等。 它以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量电测的目的。 5.2 常用压力检测仪表 压电式压力传感器 ㈣压电式传感