大气压介质阻挡放电等离子体射流源研究进展.PDF

中国科学: 物理学 力学 天文学 2014 年 第44 卷 第11 期: 1157– 1169 SCIENTIA SINICA Physica, Mechanica Astronomica SCIENCE CHINA PRESS 评 述 大气压介质阻挡放电等离子体射流源研究进展 ①② ① ①* ① 聂秋月 , 张晓菲 , 李和平 , 包成玉 ① 清华大学工程物理系, 北京 100084; ② 哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院, 哈尔滨 150001 *联系人, E-mail: liheping@ 收稿日期: 2014-09-03; 接受日期: 2014-09-22 国家自然科学基金项目资助(批准号: 摘要 大气压介质阻挡放电等离子体射流是近年来兴起的一种新的大气压低温等离子体放电技术, 是 目前国际上等离子体科学与技术领域的研究热点之一. 作为一种经济、便捷的等离子体产生技术, 大气 压介质阻挡放电等离子体射流对等离子体生物医学等新兴交叉学科的蓬勃发展起到了良好的推动作用. 本文从大气压介质阻挡放电等离子体射流发生器结构设计入手, 介绍了部分具有代表性的射流发生器的 结构特点及设计思想, 分析了不同构型射流源的优势与不足, 总结了目前实际应用中大气压介质阻挡放 电等离子体射流源特性提升所面临的挑战, 并简要讨论了产生较大体积均匀稳定的氦和氩等离子体射流 的发生器设计原则和基本特性. 关键词 大气压等离子体, 介质阻挡放电, 冷等离子体射流 PACS: 52.50.Dg, 52.80.-s, 82.33.Xj doi: 10.1360/SSPMA2014-00340 1 引言 体温度接近于室温(~300 K) 的均匀稳定的冷等离子 体, 从而使得以开放等离子体环境下热敏材料处理 大气压冷等离子体射流是20 世纪90 年代发展起 (如内窥镜等畏热医疗器械消毒灭菌、人体皮肤病和 来的一种大气压低温等离子体放电技术, 已成为目 癌症等疾病治疗以及战地生化洗消等)为背景的等离 前国际上等离子体科学技术与应用研究的热点之一. 子体生物医学、环境科学等新兴交叉学科蓬勃发展; 作为一种新型的、经济的、便捷的等离子体发生技术, 而另一方面, 相关应用领域的不断拓展亦对大气压 大气压冷等离子体射流在材料加工与改性、器械表面 冷等离子体射流理论研究及技术发展不断提出新的 洗消、生物组织结构与功能恢复、微生物诱变育种等 挑战. 比如, 为了提高处理效率, 如何产生大体积或 领域都表现出了独特的技术优势和良好的应用前景. 大面积均匀等离子体射流? 又如, 为了适应不同条 近年来, 随着大气压冷等离子体射流技术的快速发 件下对等离子体射流中化学活性粒子种类和浓度的 展, 一方面, 由于实现了在大气压开放环境下获得气 需求, 如何采用具有不同化学成分的工作气体产生 引用格式: 聂秋月, 张晓菲, 李和平, 等. 大气压介质阻挡放电等离子体射流源研究进展. 中国科学: 物理学 力学 天文学, 2014, 44: 1157–1169 Nie Q Y, Zhang X F, Li H P, et al. Advances of atmospheric-pressure dielectric-barrier-discharge plasma jets (in Chinese). Sci Sin-Phys Mech Astron, 2014,