智能空调箱之节能成效与应用.PDFVIP

智能空調箱之節能成效與應用 The Effect and Application of Intelligent MAU 陳廷宇/徐家紹/葉俊賢 台灣積體電路股份有限公司 新竹科學工業園區園區二路168 號 摘要 Abstract 度電) [圖1 ] ，因此在節約能源考量下可從 MAU作改善。 TSMC 公司在廠房設計階段，就已經將綠建 MAU通常依據功能要求來設置風機、冰 築納入設計發包範圍內，接著就該思考如何將智慧 水盤管、熱水盤管、濾網、加溼器、空氣混 化措施也納入設計中。在針對無塵室空調系統各單 合箱體 、送回風及旁通風門等；並經由風管 元深入解析後，將實際運轉經驗知識化，並透過監 將外氣送至潔淨室之回風管道或是回風層， 控系統自動化，導入了智能系統即完成了標準化的 與回風混合後再經乾盤管降溫冷卻由風車或 動態節能「外氣空調箱」（Make-up Air Unit, 是風扇過濾單元(FFU)送至潔淨室內完成潔 [2] MAU ）。除了建立空調與冰水控制系統溝通橋樑， 淨空氣循環 ，如圖2所示。 動態調配雙溫冰水比重(類似油電車驅動概念) ，其 控制跳脫傳統設定值為固定之方式，讓外氣空調箱 注入智能系統，並可依照實際無塵室負載狀況，同 時修正出風溫度設定。 關鍵詞/ 無塵室、外氣空調箱、智能系統 Keywords/ Clean Room 、MAU 、Intelligent Energy-Saving System 一、 前言 Preface / Introduction 台灣自1989 年引進「智慧建築」之概 圖1 、廠區電力耗能比例圖 念，台積電於2005 年綠廠房思維興起，除了 維持穩定及高品質供應的廠務系統發展，也 一直朝著節能運轉發展，在廠房設計之初， 即導入綠建築，建造了省水省電的晶圓製造 工廠，從源頭上就開始做對的事。但在實際 運轉上，還必須依照經驗與專業知識調整參 數並累積數據，建造並導入智能系統才有辦 法完成一連串的節能運轉的任務。 縱觀無塵室空調各系統組成中，外氣空 調箱（MAU ）設備元件最會影響潔淨室內條 圖2 、典型無塵室空調循環圖 件的控制，其功能最主要在維持室內正壓、 外氣微塵粒過濾及潔淨室內相對溼度的控制 二、 文獻回顧 Background [1] ；其消耗之能源也最大，能量運轉大約耗 冰水主機的噸位一半以上，如台積電2015耗 「智慧建築」之概念應用於外氣空調箱 電75.2 億度電，廠務空調即佔了27%(19.6億 依照美國智慧建築學會(American Intelligent Building Institute, AIBI) 的定義， Q =Q +Q +Q (1) E CC1 CC2 MA 「智慧建築」係指透過結構、系統、服務、 管理等四個基本要素及其間相互關係優化設 其中QOA 表外氣能量、QFan 表風車能 計提供一具備高效及成本經濟效益的建築空 量、QAW 表空氣洗滌器加入之能量、QHC 表 間環境。歐洲智慧建築聯盟(Intelligent 預熱盤管能量、QW 表加濕器加入能量、QE Building Group, I