气体质量流量计与控制器.PDFVIP

气体质量流量 计与控制器 莱丹集团公司总部，瑞士 Axetris AG 公司简介 Axetris AG，莱丹集团旗下的一家公司，运用微电子机械系 计量等工作具有广泛和深厚的经验。公司倡导优秀的产品附 统（MEMS）技术设计制造的红外光源，质量流量传感器和控 加值，一贯的高品质产品，出色的技术支持，让用户最终 制器，激光气体检测模块以及微光学元件服务于OEM用户， 获益。Axetris是OEM用户可靠的分系统供应伙伴，能提供广 产 品 被 广 泛 应 用 于 工 业 ， 过 程 控 制 ， 环 境 ， 医 疗 ， 汽 车 泛的高质量的成熟产品以及从新产品概念建立到定型量产 以及电信等领域。 全过程中，特殊定制的解决方案。 Axetris在多种工业应用领域为用户提供专 业和深度的技术支持。 Axetris AG 坐落于瑞士中部，通过ISO 9001认证，遵从ISO 我们的工程设计与制造团队对于从微 型芯片级到先进电子和光电 TS 16949标准加工制造6”到8”微电子机械技术（MEMS） 模块级的仿真，设计，制造， 的晶片，同时也为外部用户提供晶片代加工服务。 2 OEM高性能超紧凑型质量流量计 广泛的应用场合 外形紧凑 从测量单一气体的超声波紧凑型质量流量计和控制器，到测量多 Axetris质量流量传感器和控制器紧凑小巧的外形尺寸可以让用 相气体的带有高度集成定制阀组的质量流量计和控制器，最新的 户方便的将其他更多的功能加入到系统中，同时又能降低整机系 AxetrisMFC2000系列产品具有非常广泛的应用场合。 统的外形尺寸和重量。 模块化的设计和广泛的应用场合使您可以将最新的流体传感和控 多种气体/多量程测量能力 制技术无缝的集成到您的产品中。 每一个模块都能被灵活的组态，用于对不同流量范围和种类的气 体进行测量，降低了部件复杂程度。 高精度和高速相应 高精度和高速相应特性使得以前无法实现的对气体进行高速精确 校准和补偿 的控制成为可能。让我们在对气体进行测量时，得以获得更高的 每一个出厂的MFM/MFC2000系列质量流量计和控制器产品都经 系统流通能力，减少载气消耗量，以及对过程参数的精确同步控 过了完全的标定和温度补偿。标定标准为NIST-traceable. 制。 被测气体种类和流量范围广 微小流量测量 MFM/MFC2000系列产品适用于绝大多数的非腐蚀性气体介质的 最新的流道设计，能对极其微小的流量进行无与伦比的稳定可靠 测量，流量从小于20sccm到3000sccm（标准工况的立方厘米每 的测量与控制。 分 钟，标准工况：P0=1.01325bar;T0=273.15K）.即使更高流量 的测量要求也可以通过外部旁通来实现并满足测量要求。 高比率测量 卓越的1000：1的测量比率，能对被测对象进行更广泛的测量与 控制 技术优势 • 微电子机械系统技术（MEMS） • 紧凑的外形尺寸 • 高精确度 • 微流量测量 • 量程调节比范围宽