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利用H3PO4 液层侧面红外热像研究YBCO 高温超 - 影像科学与光化学
24 6 Vol. 24 No. 6
2006 11 Photographic Science and Photochemistry Nov. , 2006
研究论文
H PO YBCO
3 4
刘娟秀, 羊 恺, 补世荣, 张天良, 宁俊松, 罗正祥
( , 610054)
: 利用红外热像实时监测系统, 获取钇钡铜氧激光辅助化学刻蚀中
H3PO4 液层的侧 红外热像, 研究了其溶液温度分布与热对流特性, 并对红外
监测数据与钇钡铜氧薄膜激光化学刻蚀特性的关系进行了分析. 主要实验结论
包括: 红外灰度图可真实反映溶液的温度分布和热对流情况, 为激光化学刻蚀
的热环境分析提供有价值的红外监测数据; 通过任意时刻钇钡铜氧表 生成热
流所到达高度的分布情况和该时刻的红外灰度图, 分析出钇钡铜氧薄膜表 各
区域的腐蚀启动先后和刻蚀程度差异等重要信息, 为钇钡铜氧及其它材料的激
光化学刻蚀特性的实时监测提供了一种新的技术手段.
: 激光化学刻蚀; 红外技术; 高温超导; 钇钡铜氧
: 1000-3231(2006) 06-0415-06 : O64 : A
( YBCO)
[ 1] [2]
, .
[ 3-5]
, . YBCO
, ,
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, ,
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.
( ) , ,
, . : Sei-
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del ; Xia
: 2006-06-10; : 2006-0 -14.
: 63 ( 2002AA306421) ; ( JX05010) .
: ( 19 1-) , , , , ,
, E-mail: juanx iul@ uestc. edu. cn.
4 15
4 16 24
[ ]
; Jakob
[ 9]
Si( 111) HF pH ,
.
, YBCO H PO
3 4
, , ,
YBCO ,
, YBCO
. YBCO
, .
1
1 . YAG
, .
4 ms, 320 @ 240, 100 mk @ 30 e ;
0. 01 mm, 1. 7 Lm.
1
The real time monitoring of infrared images of solution. s profile
,
, H PO , , H PO BH O= 1B300,
3 4 3 4 2
5 mm . , ,
, ,
, ,
.
YBCO , YBCO H3PO4
, . H PO
3 4
6
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