系列多轴运动控制器在微电子领域中的应用.PDFVIP

第 10卷 　第2 期 光学 　精密工程 Vol . 10 　No . 2 2 0 0 2 年 4 月 　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　Ap r . 　2 0 0 2 Optics and Precision Engineering ( ) 文章编号 　1004924X 2002 020 17606 6 K6 系列多轴运动控制器在微电子领域中的应用 刘 　伟 ( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 ,吉林 长春 130022) ( ) 摘要 :微电子设备 激光调阻机 中的运动控制系统是该设备的重要部分 ,它决定了设备的生产质量和生 产效率 。其特点是 :高精度 、高速度 、高效率 、高可靠性 。尤其是硬件发生故障或人工非法操作时 ,系统 的自监控 、自诊断显得特别重要 。介绍采用多任务实时控制器 6 K6 (美国 PAR KER) ,按照事件驱动响应 方式设计控制直线伺服电机 、交流伺服电机 、步进电机的速度和定位精度 ;并通过输出接 口模块对气动 ( 元件的电磁阀进行开关量控制使机械手运行自如 ;通过输入接 口模块对多种传感器 光纤传感器 、对射 ) 式光电传感器 、反射式光电传感器 、接近式传感器 、磁感应传感器 。进行监测等 。使运动系统具有更高 的可靠性 、高精度和超高速 ,实现了产品的自动输送及完成生产过程中的各种相对运动 。降低了产品的 生产成本 ,提高设备效率 ,增强竞争能力 ,为实现现代化大规模生产提供了有力保障 ,填补了国内空白。 关 　键 　词 :激光调阻机 ; 多任务实时控制器 ; 电机驱动器 中图分类号 : TN409 　　文献标识码 :A (6) 硬件设计要便于维修和更换 ,软件要有 1 　引　言 故障监控和维修功能 。 　　激光调阻机是集光学、精密机械 、计算机控 2 　6 K6 多任务实时控制器的特点 制 、精密测量等多种技术于一体的高技术微电子 设备 。运动控制系统结构复杂 ,其中包括对直线 2 . 1 　运动 伺服电机 、交流伺服电机 、步进电机的速度和定位 1 - 8 轴步进/ 伺服控制 ,任意组合 控制 ; 对气动元件的电磁阀和开关量控制 ; 对输 标准 ±10V 模拟输出或步进/ 方向输出 入 、输出接口模块 、多种传感器的监测等 。运动系 62 . 5μ S 伺服更新周期 统控制难点在于 : 可扩展至 40 轴同步控制 ( 1) 高精度和超高速度 ; 2 . 2 　通讯 ( ) ( ) 2 多个电机要同时并行动作 , 比如横梁去 10Mbp s 双绞线以太网 TCP/ I