网站大量收购独家精品文档,联系QQ:2885784924

新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 - 压电与声光.PDF

新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 - 压电与声光.PDF

  1. 1、本文档共5页,可阅读全部内容。
  2. 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 - 压电与声光

第 卷第 期 压 电 与 声 光 年 月 文章编号 新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 张 轲 苗 斌 丁祥桢 顾智琦 潘天龙 李加东 吴东岷 张秋菊 山东师范大学 物理与电子科学学院山东 济南 中国科学院 苏州纳米技术与纳米仿生研究所国际实验室 江苏 苏州 中国科学院 苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室江苏 苏州 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林 长春 中国科学院大学 材料科学与光电技术 学院北京 中国科学技术大学 纳米技术与纳米仿生学院江苏 苏州 厦门大学 航空航天学院福建 厦门 摘 要设计并制作了一种液路自对准的高频硅基超声雾化器利用有限元分析软件对器件的特性进行了系 统的仿真分析得到施加 的激励电压后器件的阻抗特性相应谐振频率下的位移应力分布及变幅杆各部分 振动位移随时间的瞬态变化图结果表明仿真分析与理论设计相符最后通过微机电系统 工艺制备 了谐振频率为 的硅基超声雾化器为后期实验测试打好基础 关键词高频硅基超声雾化器有限元分析谐振频率变幅杆微机电系统 中图分类号 文献标识码

文档评论(0)

youbika + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档