新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 - 压电与声光.PDF

第 卷第 期 压 电 与 声 光 年 月 文章编号 新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 张 轲 苗 斌 丁祥桢 顾智琦 潘天龙 李加东 吴东岷 张秋菊 山东师范大学 物理与电子科学学院山东 济南 中国科学院 苏州纳米技术与纳米仿生研究所国际实验室 江苏 苏州 中国科学院 苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室江苏 苏州 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林 长春 中国科学院大学 材料科学与光电技术 学院北京 中国科学技术大学 纳米技术与纳米仿生学院江苏 苏州 厦门大学 航空航天学院福建 厦门 摘 要设计并制作了一种液路自对准的高频硅基超声雾化器利用有限元分析软件对器件的特性进行了系 统的仿真分析得到施加 的激励电压后器件的阻抗特性相应谐振频率下的位移应力分布及变幅杆各部分 振动位移随时间的瞬态变化图结果表明仿真分析与理论设计相符最后通过微机电系统 工艺制备 了谐振频率为 的硅基超声雾化器为后期实验测试打好基础 关键词高频硅基超声雾化器有限元分析谐振频率变幅杆微机电系统 中图分类号 文献标识码