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聚苯胺薄膜的制备及导电性_高学宁
24 3 Vol.24, No.3
2008 3 POLYMER MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING Mar.2008
高学宁, 邵天敏
(, 100084)
:采用真空蒸发沉积法, 以盐酸掺杂态和本征态聚苯胺粉末为原料, 分别在Si(100)和载玻 上沉积
了聚苯胺膜。利用傅立叶红外光谱仪(FT-IR)和扫描电镜(SEM)对薄膜进行了表征, 并研究了原料颗粒
尺寸对成膜质量的影响。 电导率测试结果表明, 采用该方法沉积的薄膜电导率在 10-6 S/cm 量级, 达到
了防静电材料电导率的要求。
:;;;
:O633.21 :A :1000- 555(2008)03-0086-04
、, , 99.0 %(
), 10, 000 ～100, 000, 25 μm
。, 。
。 ,, 30 min
[1]
、 5 μm 。
,、、 Fig.1
[2,3]
。 。、
[4, 5]
, 。 。
, , ,Si (100)
,。 。Si (100)
,。
10min。
1.5×10-3 Pa。
1.2
Nicolet560 (FT-IR)
, Si(100)
,,
Fig.1 Schematic diagram of the vacuum 。FEI-Quanta200
evaporation depositionsystem
。
1 1.3
1.1 (
)10 MPa ,15
:2006-06-29;:200 -0 -2
:(9 3)(2003CB 16201)
:, , E-mail:shaotm @tsinghua.edu.cn
3 : 8
mm , d 。 , (N=Q=
-1 -1 [6]
Resmap N)(1600 cm 1161 cm )
R , ρ=R ×d , (N -B-N )(1508
s s s
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