第3章压力检测-王威立.ppt

例6 压电声传感器在超声速测量实验中的应用 图 超声速测量实验装置 信号发生器 S1 示波器 频率计 S2 l 游标卡尺 当信号发生器产生的正弦交流信号加在压电陶瓷片两端面时，压电陶瓷片将产生机械振动，在空气中激发出声波。所以，换能器S1是声频信号发生器。 当S发出的声波信号经过空气传播到达换能器S2时，空气振动产生的压力作用在S2的压电陶瓷片上使之出现充、放电现象，在示波器上就能检测出该交变信号。所以，换能器S2是声频信号接收器。 电容式压力传感器是将被测量(如尺 寸、压力等)的变化转换成电容量变 化的一种传感器。实际上，它本身就 是一个可变电容器。 电容传感器课件 §3.5 电容式压力传感器 课件 §3.6 霍尔式压力传感器 霍尔式压力计是利用霍尔元件测量 弹性元件变形的一种电测压力计。 它结构简单，体积小，频率响应宽， 动态范围（输出电动势的变化）大， 可靠性高，易于微型化和集成电路 化。但信号转换效率低，温度影响大 ，使用于要求转换精度高的场合必须 进行温度补偿。 §3.7 本章知识要点小结 1、2、4、5 * 压力在工业自动化生产过程中是重要工艺参数之一。因此，正确地测量和控制压力是保证生产过程良好地 运行，达到优质高产、低消耗和安全生产的重要环节。本章在简单介绍压力的概念及单位的基础上，重点介绍应变式压力计、压电式压力传感器、电容式压力传感器和霍尔式压力计等的测压原理及测压方法，并以应变式压力测量系统和电子扫描多点压力测量系统为例简述测压系统的组成及应用。 * 在测量上所称的“压力”就是物理学中的“压强”，它是反映物质状态的一个很重要的参数。 * 在应变式压力计是电测式压力计中应用最广泛的一种。它是将应变电阻片（金属丝式、箔式或半导体应变片）粘贴在测量压力的弹性元件表面上，当被测压力变化时，弹性元件内部应力变化产生变形，这个变形应力使应变片的电阻 产生变化，根据所测电阻变化的大小来测量未知压力。 * * 粘结剂的性能及粘结工艺的质量直接影响着应变片的工作特性，如零漂、蠕变、滞后、灵敏系数、线性以及它们受温度影响的程度。 * 用作测量应变的金属应变片，希望其阻值仅随应变变化，而不受其它因素的影响。实际上应变片的阻值受环境温度(包括被测试件的温度)影响很大。 * * 此方法简单易行，能在较大温度范围内进行补偿。缺点是条件不易满足，尤其是条件③。在某些测试条件下，温度场梯度较大，R1和R2很难处于相同温度点。 根据被测试件承受应变的情况，可以不另加专门的补偿块，而是将补偿片贴在被测试件上，这样既能起到温度补偿作用，又能提高输出的灵敏度。 * 应变片将被测试件的应变ε转换成电阻的相对变化 △R/R ，还须进一步转换成电压或电流信号才能用电测仪表进行测量。通常采用电桥电路实现这种转换。根据电源的不同，电桥分直流电桥和交流电桥。 * 应变式压力传感器常设计成两种不同的形式，即膜式及测力计式。前者是应变片直接贴在感受被测压力的弹性膜上；后者则是把被测压力转换成集中力以后，再用应变测力计的原理测出压力的大小。 * 图所示为一种带水冷的测力计式应变压力传感器。它与膜式传感器的最大区别在于被测压力不直接作用到贴有应变片的弹性元件上，而是传到一个测力应变筒上。被测压力经膜片转换成相应大小的集中力，这个力再传给测力应变筒。应变筒的应变由贴在它上边的应变片测量。一般测量应变片沿圆周方向粘贴，而补偿应变片则沿轴向粘贴，在承受压力时，后者实际受有压应力，根据需要可以贴两个或四个应变片，实现差分补偿测量。 * 薄膜应变片采用溅射或蒸发的方法，将半导体或金屑敏感材料直接镀制于弹性基片上。相对于金属粘贴式应变片而言，薄膜应变片的应变传递性能极大地得到改善，几乎无蠕变，并且具有稳定性好、可靠性高、尺寸小等优点，是一种很有发展前途的力敏传感器。 * 压电式传感器以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下电介质的表面上 产生电荷，从而实现对压力电测的目的。 压电晶片的连接方式 在实际应用中，由于单片的输出电荷很小，因此，组成压电式传感器的晶片不止一片，常常将两片或两片以上的晶片粘结在一起。粘结的方法有两种，即并联和串联。 压电式传感器的测量电路 并联方法两片压电晶片的负电荷集中在中间电极上，正电荷集中在两侧的电极上，传感器的电容量大、输出电荷量大、时间常数也大，故这种传感器适用于测量缓变信号及电荷量输出信号。 (a)并联 + + － － － + 串联方法正电荷集中于上极板，负电荷集中于下极板，传感器本身的电容量小、响应快、输出电压大，故这种传感器适用于测量以电压作输出的信号和频率较高的信号。 (b)串联 + － － + 图 压电元件连接方式 (a) 相同极性端粘结； (b) 不同极性端粘结