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- 2017-08-21 发布于天津
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中械工程第二十四全研文集中原大桃中中民九十六年十一月二十三日二十四日文利用二段退火之金晶法用於太能池多晶矽薄膜之研究茹媛在根翁敏航于平屏科技大材料系山科技大械系家奈米元件室太能池在研近年後已受冷落而乎停摘要近年各研究位致力於展低多晶矽技本研究主要成多晶矽的方法是用金由於多晶矽具有佳之晶晶粒低之缺陷密的方法以在成出於的高品多晶矽度及比非晶矽通常低於高出十位至百倍薄膜在不超玻璃熔之下故可用子移率至故若可取代有之非玻璃以到大量生之目的本文探利用金晶矽薄膜可提整基板吸收效率大其晶法用域在低以下助化相沉於
中國機械工程學會第二十四屆全國學術研討會論文集 中原大學 桃園、中壢
中華民國九十六年十一月二十三日、二十四日 論文編號: E05-0016
利用二階段退火之鋁金屬誘發結晶法製備應用於太陽能電池多晶矽薄膜之研究
楊茹媛 1 2 3 2
、凃在根 、翁敏航 、于劍平
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