自由曲面的CGH光学检测方法与实验.pdfVIP

第4l卷第4期 红外与激光工程 2012年 4月 Vo1．41NO．4 InfraredandLaserEngineering Apr．2012 自由曲面的CGH光学检测方法与实验 黎发志 1,2，郑立功 ，闫 锋 ，薛栋林 ，张学军 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室， 吉林 长春 130033；2．中国科学院研究生院，北京 100049) 摘 要：自由曲面能有效地简化光学系统结构并提高其性能，在照明光学系统和成像光学系统中均具 有良好的应用前景。为了实现 自由曲面的高精度光学检测，分析了自由曲面的计算机全息图(CGH)检测 方法并讨论了它的限制因素；探讨了使用基准CGH区域解决自由曲面检测时的对准问题 ；设计并制作 了 直径为 180Bin的CGH对某三次方项波前编码 自由曲面(口径 150mm，PV为 6A，人@632．8nm)进行 了光学检测 ，该方法的检测结果 (0．068Arms)与非零位检测方法的检测结果 (0．067Xnns)一致 ，实验验 证 了自由曲面的cGH检测方法。该方法具有 易对准、精度高和效率高的优点。 关键词：计算全息图； 自由曲面； 光学检测 中图分类号 ：TH741；TP391．7 文献标志码 ：A 文章编号 ：1007—2276(2012)04—1052—05 Opticaltestingmethodand itsexperimentonfreeform surface with computer-generatedhologram LiFazhi，ZhengLigong，YanFeng，XueDonglin，ZhangXuejun (1．KeyLaboratoryofOpticalSystem AdvancedManufacturingTechnology，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanics nadPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun 130033，China； 2．GraduateUniversityoftheChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China) Abstract：Freeform surfaceispreferred in both illumination opticalsystemsand imaging opticalsystem， whicheffectively simplifiestheopticalsystem configurationandenhancesitsperformnace．Inordertotest freefomr precisely，computer-generated hologram (CGH)testing methodwasdiscussed in thispaper， including itsdesignmethodandrestrictionfactor．ThealignmentprocedurewithfiducialCGH sectionswas also investigatedtoguidethealignmentoffreefomr ．A CGH with diameterof180ITltn wasdesignedand fabricated to testa cubic wavefront—coding freeform fwith dima eterof 150nMYI，and a 6入cubic temr s deviationfrom plane，A@632．8nm)．Thetestingresult(0．068Arms)agreeswellwiht thenon—