应用于微结构制造自治系统的流程自动生成.pdfVIP

第28卷 第1期 世界科技研究与发展 Vd．28 No．1 Feb．2006 2006年2月27—32页 WORLDSCI．TECHR＆D PP．27—32 应用于微结构制造自治系统的流程自动生成 严利人 (清华大学微电子学研究所，北京100084) 摘要：本文介绍计算机自动生成微结构制造流程的技术。微结构器件的种类繁多，不同器件的加工特点都不相 同，即以中等复杂程度的CMOS结构而言，其制造流程就达到了几百个步骤之多，因此流程的生成技术是极具挑战 性的。一个适用流程可按由简入繁的过程逐步形成。本文首先介绍了根据器件结构的特点，确定单元加工顺序的 优先级方案；在单元加工顺序确定后，参照本文所定义的一个原型工艺库，可以将对单元的加工处理展开成局部的 工艺步骤串；工艺步骤串连缀而成的初始工艺流程，经过一定的优化与适配工艺条件的之后，产生出在实践中能够 直接使用的、详细的工艺流程卡。 关键词：微结构制造 自治系统工艺开发流程自动生成 ProcessFlowsfor AutomaticallyGenerating AnElectronic Automation ManufacturingSystem YANLiren of (Institute University，Beijing100084) Mieroelectronics，Tsinghua fora to micmstructureflowsare mi— computerautomaticallygenerate process presented．Different Abstract：Techniques for crc)structuredevicesare different eachofthese contains，for aa旧Sstruc— processedthrough ways，and ways example ofmoderate ahundred re$e．B．reheson flow ture complexity，OVerprocesssteps．Generallyspeaking，the processgenerating are difficult．Afeasible flowis tobe first．thestructurecell techniquesquite process suggestedgeneratedstepbystep．At can canbedeterminedsome rulesintoconsideration．Eachinthe then fabricatingsequence bytakingpriority step sequence be tothedeftnition