附录1 - 同济大学物理科学与工程学院.doc

毕业设计(论文)任务书 （适用于工科类、理科类专业） 课题名称 光敏凝胶薄膜的制备 及其上光栅结构的引入 副 标 题 学院（系） 物理系 专 业 1应用物理学2光信息科学与技术 学生姓名 周昌鹤 学 号 032836 毕业设计(论文)起讫时间： 自 2010 年 3 月 1 日至 2010 年 6 月 4 日共 14 周 指导教师签名 2010 年 3 月 日 教学院长(系主任)签名 2010 年 3 月 日 一、毕业设计（论文）的课题背景 Sol-Gel(溶胶-凝胶)法是一种低温合成材料的方法，是目前材料科学研究的热点之一。因为Sol-Gel技术以其特有的优点，通过简单的工艺能够实现在分子水平上薄膜成分的复合和有机-无机杂化，使薄膜具有传统方法无法得到的新型功能。 采用Sol-Gel工艺制备光敏溶胶，通过旋涂、流延和提拉等工艺可获得光敏凝胶薄膜，它在紫外波段具有特征吸收峰。结合紫外曝光（掩膜曝光或双光束干涉）和显影工艺可以将光栅结构引入光敏凝胶薄膜，获得凝胶光栅。这是一种基于化学法制备光栅结构的工艺，具有工艺简单、大量成膜、激光损伤阈值高等优点。在强激光实验和光通信领域的光学元件的制备中有重要应用前景。 二、毕业设计（论文）的技术参数（研究内容） （1）HfO2光敏凝胶薄膜的制备探索 （2）折射率可调的二元光敏凝胶（SiO2/ZrO2或SiO2/HfO2）薄膜的制备及其光敏特性研究 （3）光敏凝胶薄膜上光栅结构的引入，光栅线宽为25μm或1μm （4）光敏凝胶薄膜及光栅结构的物性测量。 三、毕业设计（论文）应完成的具体工作 （1）探索HfO2光敏溶胶的制备工艺，优化工艺方案，确定可行性 （2）折射率可调的二元光敏溶胶（SiO2/ZrO2或SiO2/HfO2）配制 （3）光栅结构引入工艺研究，获得线宽为25μm或1μm光栅结构 （4）溶胶体系、薄膜体系及光栅的物性测量。 四、毕业设计（论文）进度安排 序 号 设计（论文）各阶段名称 时间安排（教学周） 1 文献调研 第1、2周 2 HfO2光敏溶胶的制备探索 第3、4、5周 3 HfO2光敏溶胶特性研究 第6、7、8周 4 SiO2/HfO2等二元溶胶的制备 第9、10周 5 光敏凝胶薄膜上光栅结构的引入 第11、12、13周 6 工艺全面总结 第14周 7 论文写作，答辩 第15周 同组学生姓名：1、无；2、有就写姓名 五、应收集的资料及主要参考文献 [1]徐翔.ZrO2光敏凝胶薄膜的制备及相关光学微结构加工工艺的研究.同济大学硕士学位论文，2006. [2]黄剑锋.溶胶-凝胶原理与技术.化学工业出版社，2005. [3]周祖康，顾惕人，马季铭.胶体化学基础.北京大学出版社，1987. [4]H.Dammann. Color separation gratings. Applied Optics, 1978, 17(15):2273-2279. [5]Changhe Zhou, Yanyan Zhang, Pen Xi ,et al. Symmetric color separation gratings. Proceedings of SPIE, 2003, 5201:174-179. [6]J.J.Yu, Q.Fang, Z.M.Wang, et al. Hafnium oxide layers derived by photo-assisted sol-gel processing. Applied Surface Science, 2003, 208-209:676-681. [7]M.Alvisi, M.Di Giulio, S.G Marrone, et al. HfO2 films with high laser damage threshold. Thin Solid Films, 2000, 358:250-258. [8]刘冰，强亮生.溶胶-凝胶法制备光学杂化材料.化学进展，2005, 17(1):85-90. [9]赵高扬，赵桂荣. 感光性溶胶-凝胶法在功能薄膜微图形与微阵列中制备中的应用.功能材料，2004, 35:3003-3005.