集成中心试验室规范.docVIP

总则： 半导体集成技术中心超净工艺线为保持超净度，维持安全运行，使所有人员都能在一个良好的环境中工作，并保证工作环境持续有效，特制订本条例。 集成中心净化间管理条例 私自带人进入集成中心工艺线 门禁卡转借他人 用别人的卡进入集成中心工艺线私自带出集成中心药品或其他物品 以上条例一旦触犯将被停卡两月至半年，无卡人员推迟办卡两月至半年 集成中心净化间警告 乱翻抽屉，乱拿他人物品打碎，打翻化学试剂后借口试验忙推迟处理或擅自离开 用完热源之后不关闭电源，用完水浴不倒水 工艺完毕之后不收拾个人用品，废液荒置，不回收废液 下班后离开，不关本房间的灯和电，不关使用过的轻，重腐蚀间的灯，不关闭大厅要求关闭的电闸 以上警告发生三次将被停卡两个月 净化间人员进入路线： 3、进入集成中心净化实验室： 刷卡 禁止代他人刷卡，每次进出一定要刷卡，以保证系统留有记录 禁止借用他人的卡进入实验室 开门之后禁止采用任何措施使大门不能及时、顺利关闭 禁止私自带人进入净化间；带人参观需提前请示中心领导 禁止擅自带出集成中心净化间药品及物品； 禁止未经请示擅自带入实验装置，或配置药品侵占净化间场地 4、二楼一次换鞋处（室外鞋换成深色净化间用拖鞋）： 坐在绒凳上脱下室外鞋拿好 跨过绒凳只穿袜子进入换鞋区 在公用鞋柜里找公用拖鞋(有鞋柜的人员应该在自己的鞋柜中拿取自己的拖鞋) 把室外鞋放入公用鞋柜的下层 从公用鞋柜的上层取出拖鞋穿好，并随手关好鞋柜门 在更衣间门口拿好口罩和压发帽戴好 对着镜子把头发全部抿紧压发帽，不要有发梢伸出压发帽外 注意事项： 禁止户外鞋放置在绒凳边上，应放入鞋柜或管理人员指定位置； 工作区拖鞋不能在绒凳以外的区域穿着； 如果室外鞋无法放入鞋柜，应放置在鞋柜顶部，或请工作人员帮助解决； 室外鞋和工作间拖鞋在鞋柜里的放置位置不能混淆； 不得随意穿着他人的拖鞋，未经允许也不得将鞋放入他人的鞋柜； 夏天不得穿着凉鞋，脱鞋或穿着其他实验室的拖鞋来本净化间工作； 离开净化间穿回户外鞋时，不要将脚首先踩在绒凳以外的地上再穿鞋，应将脚直接穿入室外鞋中，以避免再次进入净化工作区时将尘土带入； 口罩是一次性的，压发帽可以重复使用一到两周。 5、净化服穿戴 分别进入男，女更衣间 把外衣，随身用品放入一次更衣室（简称一更）的衣柜里锁好 进入二次更衣室（简称二更）开始穿净化服 分体净化服，首先戴好帽子，穿上衣压住帽子，再穿裤子压住上衣，穿袜套压住裤子，穿上拖鞋 用力压好尼龙扣，不要绷开 如果净化服号小，请让工作人员换大一号的净化服 连体净化服，拿住衣袖不要拖在地上，先穿下身，再穿上身，戴好帽子，袜套压住裤子，穿上拖鞋 对着镜子检查好穿戴，头发是否露出，尼龙扣是否扣好，压发帽不应露在净化帽之外之后才能离开更衣室 如需帮助，工作人员的电话在净化间的进门处 离开更衣室之前用钥匙锁好衣柜门，离开更衣室时注意随手关门 连身净化服拉链，口罩，手套要全部穿戴好之后方可离开更衣室 注意事项： 禁止把食物、饮料以及其他任何食物带入净化间，也不允许将这些物品放入更衣柜； 使用衣柜以后一定要关好柜门； 更衣期间不要将净化服、净化袜子放置在地上； 如果在净化间内需要使用手机，更衣期间应将手机放在净化服口袋中； 在净化间内禁止拉开净化服拉链。 6、一楼二次换鞋处 从二楼下楼到一楼 有鞋柜的人员，把拖鞋放入自己鞋柜，之后关好柜门 参观人员和没有鞋柜的人员从“已消毒净化鞋”桶里拿出白色净化鞋， 走到换鞋绒凳前脱下拖鞋 跨过换鞋绒凳穿着袜套进入“禁止穿鞋踩踏”区域，另一只手把拖鞋拿起，放入拖鞋鞋柜，参观人员和没有鞋柜的人员，应在陪同人员的指导下把拖鞋放在拖鞋鞋柜顶上 拿好白色净化鞋，只穿袜套走过“禁止穿鞋踩踏”的水晶板区域，来到集成中心净化实验室的风淋门前 有专用鞋柜的人员，从自己鞋柜里取出净化鞋，关好柜门 把净化鞋放在水晶板区域以外，穿好 刷卡打开风淋门，一次一人。风淋时应转动身体 参观可以一次两人 进入风淋门面向实验室在风淋区的中心位置站好 不要靠在风淋出风口上 脚下多踩踏几下脚踏粘垫盛有硫酸和水的烧杯在进行水浴降温，如果温度过高，烧杯炸裂净化间人员由风淋室旁出口离开净化区，出口处门随手关闭，沿二次更衣室进入路线逆行退出，连身洁净服至更衣室后方可脱除 文件名称：集成中心净化间使用规范 第1版 第1次修改 文件编号：Q/IS JC1-G009 共11页 第1页 穿净化服 脱下外套等物品 脱下室外鞋 换成拖鞋 换净化鞋进入 风淋室 走过水晶板区域 （裸脚行走） 拿好白色净化鞋 下楼到达 二次换鞋处 放好拖鞋 下楼到一楼 拖下拖鞋放入鞋柜 对镜检查