基于飞秒光频梳的压电陶瓷闭环位移控制系统 - 物理学报.PDF

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 7 (2013) 070702 基于飞秒光频梳的压电陶瓷闭环位移控制系统* † 朱敏昊 吴学健 尉昊赟 张丽琼 张继涛 李岩 ( 清华大学精密仪器与机械学系, 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 北京 100084 ) ( 2012 年10 月27 日收到; 2012 年11 月29 日收到修改稿) 利用飞秒光频梳、外腔可调谐半导体激光器和法布里- 珀罗干涉仪建立了一套压电陶瓷亚纳米级闭环位移控 制系统. 将可调谐半导体激光器锁定至光频梳, 通过精确调谐光频梳的重复频率, 实现了半导体激光器在其工作频 率范围内的精密调谐. 利用Pound-Drever-Hall 锁定技术将带有压电陶瓷的法布里- 珀罗腔锁定至半导体激光器, 进 而通过频率发生系统控制压电陶瓷产生亚纳米级分辨率的位移. 实验研究发现锁定至光频梳后可调谐半导体激光 器 1 s 的Allan 标准偏差为 168 1012, 将其在30.9496 GHz 范围内进行连续闭环调谐, 可获得压电陶瓷的位移行 程约为4.8 m; 以3.75 Hz 的步长扫描光频梳的重复频率, 实现了压电陶瓷的450 pm 闭环位移分辨率并测定了压电 陶瓷的磁滞特性曲线. 该系统不存在非线性测量误差, 且激光频率及压电陶瓷位移均溯源至铷钟频率源. 关键词: 光频梳, 压电陶瓷, 法布里- 珀罗腔, 可调谐半导体激光器 PACS: 07.60.Ly, 06.20.f, 06.30.Bp, 42.62.Eh DOI: 10.7498/aps.62.070702 充分利用由电信号细分获得的高位移分辨率. 法布 1 引言 里- 珀罗(F-P) 干涉仪是基于激光频率测量的位移 干涉仪, 不存在非线性测量误差, 广泛应用于高精 随着纳米科技及半导体加工工业的发展, 人们 度的位移测量系统 79 . 相比激光外差干涉仪, 利 对纳米尺度的测量及操控提出了越来越严格的要 用F-P 干涉仪对PZT 进行闭环位移控制更具优势. 1 求, 精密纳米定位系统的研制日益迫切 . 压电陶 F-P 干涉仪进行位移测量及控制时要解决的一项重 瓷驱动器(PZT) 具有体积小、分辨率高、响应速度 要技术是光学频率的绝对测量, 但是传统的基于稳 快、不发热、可控性好等特点, 可实现纳米甚至亚 频激光器的拍频测量方案受限于拍频的测量带宽, 纳米量级的微小位移变化, 被广泛应用于精密定位 将其应用于PZT 位移控制时量程小, 且需采用复杂 系统. 但PZT 自身具有磁滞、蠕变及老化等特性, 的控制系统, 缺乏实用性. 2 开环工作状态下存在较为严重的非线性效应 , 因 飞秒光学频率梳(光频梳) 的出现为F-P 干涉 此通常采用闭环控制的方法来提高PZT 精密定位 仪的进一步发展提供了新的思路. 光频梳在频率域 34 系统的定位精度 . 中是由一系列光频梳齿组成的, 由于锁定至微波频 激光外差干涉仪测量精度高、测量速度快、 率基准, 光频梳拥有比现有稳定激光更高的频率稳 抗干扰性强, 且测量结果具有可溯源性, 是闭环控 定度, 且光谱范围覆盖可见及近红外波段, 可实现 制PZT 定位系统的重要方法. 2003 年, Topcu 利用 光学频率的直接测量及任意光学频率发生 101