государственный контракт № 02513113387.ppt

Государственный контракт № 02.513.11.3387  ?Нанокластерированные ферромагнитные материалы для приборов полупроводниковой спиновой наноэлектроники? Головной исполнитель: Томский политехнический университет (г. Томск) Разработка и изготовление макета вакуумно-плазменной установки для нанесения ферромагнитных полупроводниковых пленок Соисполнитель: ФГУП ?Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности ?Гиредмет? (г. Москва) Разработка лабораторных технологических регламентов получения нанокластерированных ферромагнитных материалов Состав установки: - водоохлаждаемая вакуумная камера; - безмасляная система откачки; - источники плазмы; - источники питания; - система напуска рабочего и реакционного газов; - автоматизированная система управления. Нагревательный элемент с напыляемым образцом Вакуумная камера Система управления позволяет работать как в ручном, так и в автоматическом режимах. Возможно автоматическое управление всем процессом включая вакуумирование, очистку поверхности, разогрев образца, поддержание рабочего давления и мощности источников питания, напыление и отключение установки. Источники плазмы: – три высокочастотных магнетрона с источниками питания и блоками согласования на 13,56 МГц ; – один ионный источник с холловским дрейфом электронов, предназначенный для очистки поверхности образцов перед напылением. Стойка управления Свечение плазмы магнетронного разряда Магнетроны оснащены поворотными заслонками. Источники плазмы и заслонки могут работать в автоматическом режиме. МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ СПИНОВОЙ ЭЛЕКТРОНИКИГосударственный контракт № 02.513.11.3387 Задано: Разработка лабораторных технологий получения нанокластерированных ферромагнитных материалов на основе оксидных и элементарных полупроводников для приборов спиновой наноэлектроники, и создание макетного образца соответствующего технологического оборудования. Результаты испытаний созданных материалов По ре