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富士胶片集团对打印 头单层压电片驱动器.PDF
驱动 技术
富士胶片集团对打印
头单层压电片驱动器
进行的仿真
富士胶片集团的工程师使用多物理场仿真
来收集验证数据,借以改进工业打印头中
驱动装置的性能。
图 1:富士胶片公司开发的打印头几何。每个填满了墨水的泵室上方
都安装了一个驱动器。泵室下方是将墨水运至喷嘴的流道。
作者:LEXI CARVER
工业喷墨打印机的应用范围非常广泛,从商品包
装和宽幅图片,到招牌、织物,它甚至能够应用于电
子领域,可以说,喷墨印刷帮我们实现了日常活动中
的信息分享与交流。富士胶片集团是商用喷墨打印头
的领先制造商,它们正在 MEMS 驱动器 的开发中使用
多物理场仿真来推进最新型喷墨打印产品的研发。
» 利用微米量级压电驱动器进行打印
在富士胶片集团,研发团队的首席科学家 Chris 图 2:晶圆上喷嘴的放大图,以及在打印头装配体中的位置。
Menzel 正在研究打印头驱动技术,以推动公司最新
型单层压电膜片式驱动器的设计。这些驱动器通过
MEMS 制造工艺开发,其中用到了高性能薄膜压电 起,形成了一个谐振式射 破喷嘴处的表面张力来喷
层。这种钛酸铅( PZT )压电换能器中的高质量专有 流器件。在 PZT 电气仿真 出墨滴。当产生的流体动
喷溅层是一种电工陶瓷,会在施加电场后变形,广泛 中,对脉冲进行了调谐来 量 足 够 大 时 , 液 滴 会 被
用于多种换能器。PZT 附在一层硅膜上,然后将驱动 模拟喷射的谐振,驱动器 喷 射 出 来 , 然 后 落 到 基
器排布在晶圆表面,每个驱动器对应于一个包含多个 发生挠曲,在紧密连接的 底上。
流道及一个喷管的微型喷嘴(见图 1 和图 2 )。打印 流道中产生声波。喷嘴设 Menzel 希望能通过他
头中紧密排列了上千个这种系统。 计能够高效地将压力波转 的 设 计 来 定 义 驱 动 器 与
每个喷嘴中的组件(流道和驱动器)组合在一 换为脉动流,后者需要突 射流流道,二者的结合将
2015年9月 27
驱动 技术
道,然后执行仿真来提取
能在给定速度下生成满足
驱动器在压力载荷下(即
特定质量要求的液滴,并
柔量)的变形与在电压载
在可用电压下实现目标的
荷 ( 即 输 出 ) 下 的 挠 曲
最大发射频率。这一设计
(见图 3 下)。Menzel 研
过程也暗含了对微型化以
究了各种不同驱动器的几
及低成本化的需求。基于
何结构,所得结果用在了
这一需求,驱动器设计的
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