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第41卷第5期 上海交通大学学报 V01．41No．5
2007
2007年5月 SHANGHAlUNIVERSITY May
JOURNAL0F JIAOTONG
文章编号：1006—2467(2007)05一0825—05
用于晶圆制造产能规划优化决策的
改进随机规划方法
耿娜， 江志斌
(上海交通大学机械与动力工程学院，上海200240)
摘 要：提出了一种滚动式基于场景(scenario)的随机规划方法．由于需求的高度不确定性，采用
多个预测场景来模拟需求的不确定性，其发生概率之和为l；由于一个产能计划周期可能包含多个
需求预测周期，以分别满足几个预测周期的需求为约束，而不是满足整个计划周期的需求；以滚动
的形式来做设备购置计划，即根据未来几个计划周期的情况来做本期设备购置决策，使得到的设备
购置决策具有更好的鲁棒性．结果表明，当未来产品需求在一定范围内变动时，基于随机规划的滚
动计划决策优于原来的随机规划决策．
关键词：晶圆制造；产能规划；随机规划
中图分类号：0221．5 文献标识码：A
The forWaferFabricationBased
CapacityPlanning
onanImprovedStochastic-PrOgramming
GENGNa。 lANGzhi-bin
J
(SchoolofMechanical 200240，China)
Eng．，ShanghaiJiaotongUniv．，Shanghai
and forwaferfabrication
Abstract：Becauseof uncertain demand，the is
high capacity capacityplanning
difficult．Towiththis methodwasusedbasedonan see—
very cope problem，arollingplanning improved
tomaketool decision．The of de—
procurement uncertaintyproduct
nario—based—stochastic—programming
mandis withasetofdemandscenarioswithassociated ofoccurrence．One
represented probabilities capaci—
containseveral demandsof
typlanningperiodmay forecastingperiods．The forecasting
thanthe consideredinthe tool ismadein
constra
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